Industria Berriak

Garbitasun handia: lurrun-deposizio kimikoaren bidez (CVD) hazitako silizio epitaxial geruza oso garbitasun handia du, gainazaleko lautasun hobea eta akatsen dentsitate txikiagoak obleek baino.

Silicon Carbide Solicon (SIC) erdieroaleen fabrikazioko funtsezko materialetako bat bihurtu da propietate fisiko bereziak direla eta. Jarraian, bere abantailen eta balio praktikoaren azterketa da bere propietate fisikoetan eta erdieroale ekipamenduetan duten aplikazio espezifikoetan oinarrituta (wafer eramaileak, dutxako buruak, grabaketa-eraztunak, etab.).