Oxidazio eta difusio labeak

Oxidazio eta difusio labeak hainbat alorretan erabiltzen dira, esaterako, gailu erdieroaleak, gailu diskretuak, gailu opteroelektronikoak, gailu elektronikoak, eguzki zelulak eta eskala handiko zirkuitu integratuaren fabrikazio integratua. Zabalkuntzak, oxidazioa, gorroto, aleazio eta ogiak sintetzeko prozesuetarako erabiltzen dira.

Vetek erdieroalea garbitasun handiko grafitoa, silizio karburoa eta kuartzoko osagaiak oxidazio eta difusio labeen ekoizpenean espezializatutako fabrikatzaile garrantzitsu bat da. Kalitate handiko labeen osagaiak eta industria fotovoltaikoentzako kalitate handiko labe osagaiak eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta gainazaleko estalduraren teknologiaren abangoardian daude, hala nola CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, etab.

Vemen erdieroale silizio karburoen osagaien abantailak:

● Tenperatura altuko erresistentzia (1600 ℃ arte)

● Erosketa termiko bikaina eta egonkortasun termikoa

● Korrosio kimikoko erresistentzia ona

● Hedapen termikoaren koefiziente txikia

● Indar eta gogortasun handia

● Zerbitzu luzeko bizitza

Oxidazioan eta hedapen labeetan, tenperatura altuko eta gas korrosiboen presentzia dela eta, osagai askok tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentziak erabiltzea eskatzen dute, eta horien artean silizio karburoa (SIC) da. Honako hauek dira oxidazio labeetan eta difusio labeetan aurkitutako silizio karburo osagaiak:

● Wafer Boat

Silikonazko karburoen txalupa silikonazko ogiak eramateko erabilitako edukiontzia da, tenperatura altuak jasan ditzakeela eta ez du silikono-ogienekin erreakzionatuko.

● Labe hodia

Labearen hodia difusio labearen oinarrizko osagaia da, silikonazko ogiak hartzeko eta erreakzio ingurunea kontrolatzeko erabiltzen dena. Silizio karburo labeetako hodiek tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentzia errendimendu bikaina dute.

● Baffle plaka

Labearen barruan aire-fluxua eta tenperatura banatzea arautzeko erabiltzen da

● Babes termokopia hodia

Tenperatura neurtzeko tenperatura neurtzen dutenak gas korrosiboekin.

● Cantilever Padel

Silikonazko karburo kantilariak tenperatura eta korrosio altuarekiko erresistenteak dira eta silikonazko itsasontziak edo kuartzozko itsasontziak garraiatzeko erabiltzen dira silikonazko ogiak difusio labe hodietan eramaten.

● Gas injektorea

Erreakzio-gasa labean sartzeko erabiltzen da, tenperatura altua eta korrosioa erresistentea izan behar du.

● Itsasontzi eramaile

Silikonazko karburoen txalupa eramaile silikonazko ogiak konpontzeko eta laguntzeko erabiltzen da, indar handia, korrosioarekiko erresistentzia eta egiturazko egonkortasun ona dituzten abantailak dituztenak.

● Labearen atea

Silizio karburo estaldurak edo osagaiak ere erabil daitezke labeko atearen barrutik.

● Berokuntza elementua

Silizio karburo berogailu elementuak tenperatura altuetarako egokiak dira, potentzia altua eta azkar tenperaturak 1000 ℃ baino gehiago igo ditzakete.

● Sic forrua

Labeko hodien barruko horma babesteko erabiltzen da, bero energia galtzea eta tenperatura altua eta presio handia bezalako ingurune gogorrak jasaten lagun dezake.

View as

Silizio karburo robot besoa

Gure silizio karburoa (SIC) Arm robotikoa errendimendu handiko wafer maneiatzeko diseinatuta dago, erdieroaleen fabrikazio aurreratuetan. Garbitasun handiko silizio karburoz egina, beso robotiko honek aparteko erresistentzia eskaintzen du tenperatura altuak, plasma korrosioa eta eraso kimikoa, garbitzeko inguruneak zorrotz egitean funtzionamendu fidagarria bermatzeko. Bere indar mekanikoen eta dimentsioaren egonkortasun apartekoak gaiari buruzko manipulazio zehatza ahalbidetzen du kutsadura arriskuak minimizatzen dituen bitartean, aukera ezin hobea izan dadin MOCVD, Epitaxia, Ion inplantaziorako eta beste aplikazio kritikoetarako. Ongi etorri zure kontsultak.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Silizio karburo sic wafer boat

VetekemicInon SIC Wafer itsasontziak oso erabiliak dira tenperatura handiko prozesuetan erdieroaleen fabrikazioan, oxidazioan oinarritutako zirkuitu integratuetarako oxidazio, difusio eta barneratzeko prozesuak erabiltzeko. Hirugarren belaunaldiko erdieroaleen sektorean ere nabarmentzen dira, esaterako, EPITAXIAL HAZKUNTZA (EPI) eta Metal-Organic Vapor Vapor Kimiko Gordailuen (MOCVD) bezalako prozesu zorrotzak egiteko. Industria fotovoltaikoan eraginkortasun handiko eguzki zelulen tenperatura altuko fabrikazioa ere onartzen dute. Zure kontsulta gehiago espero dugu.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Sic Cantilever Paddles

Vetekemicermicery Sic Cantilever Paddles purutasun handiko silizio karburoak dira, zabal-labe horizontaletan eta erreaktore epituxialetan oinarritutako wafer manipulatzeko diseinatutako besoak. Salbuespen termikoko eroankortasunarekin, korrosioarekiko erresistentziarekin eta indar mekanikoarekin, pauso horiek egonkortasuna eta garbitasuna bermatzen dituzte erdieroale inguruneak eskatzeko. Neurrira egindako neurrietan eskuragarri eta zerbitzu luzeko bizitzarako optimizatuta.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

SIC Zeramika Mintza

Vetekemiciemicen SIC zeramikazko mintzak mintza ezorganiko mota bat dira eta mintzaren bereizketa teknologian mintz material sendoak dira. SIC mintzak 2000 baino gehiagoko tenperaturan despeditzen dira. Partikulen azalera leuna eta biribila da. Ez dago euskarri geruzan eta geruza bakoitzean poro edo kanal itxiak. Normalean poro tamaina desberdinak dituzten hiru geruzaz osatuta daude.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Zeramikazko plaka porotsua

Gure zeramikazko plaka porotsuak silizio karburoz egindako zeramikazko material porotsuak dira osagai nagusiak eta prozesu bereziak prozesatuz. Erretinezko fabrikazioan, lurrun kimikoen gordailurako (CVD) eta bestelako prozesuetan ezinbesteko materialak dira.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Sic zeramikazko wafer boat

Vetek erdieroalea SIC zeramikazko wafer boat hornitzailea da, fabrikatzailea eta fabrika Txinan. Gure SIC zeramikazko txalupa ezinbesteko osagaia da wafer manipulazio prozesu aurreratuetan, fotovoltaikoari, elektronikan eta erdieroaleen industriei ostatuan. Zure kontsulta espero dugu.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Txinan Oxidazio eta difusio labeak fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Oxidazio eta difusio labeak aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra
+86-18069220752
Faxa
+86-579-87223657
Posta elektronikoa
anny@veteksemi.com
Helbidea
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang probintzia, Txina

Web menua

Produktuen bilaketa

Hizkuntza

Irten menutik

Oxidazio eta difusio labeak

Vemen erdieroale silizio karburoen osagaien abantailak:

Silizio karburo robot besoa

Silizio karburo sic wafer boat

Sic Cantilever Paddles

SIC Zeramika Mintza

Zeramikazko plaka porotsua

Sic zeramikazko wafer boat

Bidali kontsulta

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra

Faxa

Posta elektronikoa

Helbidea