Silizio nitride

1. Egonkortasun kimiko bikaina

Silizio nitruro zeramikak egonkortasun kimiko bikaina du eta azido sendoak, alkalis eta gas korrosibo ugari jasan ditzake. Erdieroaleen fabrikazio prozesuan askotan produktu kimiko korrosiboei aurre egin behar izaten da, silizio nitruro zeramikak epe luzerako errendimendu berme egonkorra eman dezake.

2. Propietate mekaniko bikainak

Silizio nitruro zeramikak gogortasun handia du, indar konpresio bikaina eta higadura erresistentzia, estres mekanikoa eta gainazaleko higadura jasateko gai, deformazio edo haustura ez da erraza. Jabetza mekaniko honek oso egokia da erdieroale ekipamenduetan egiturazko eta prozesatzeko materialetarako.

3. Tenperatura handiko egonkortasuna

Silizioa nitruro zeramikak egonkortasuna mantendu dezake tenperatura handiko inguruneetan, ez da erraza leuntzeko edo urtzeko, eta tenperatura altuko prozesamendua eta manipulazioa jasan ditzake erdieroaleen fabrikazio prozesuan. Horri esker, tenperatura handiko prozesuen ekipoen ohiko osagaiak fabrikatzeko aukera ematen du, hala nola, grippers, erreakzio ganbera osagaiak eta abar.

4. Propietate isolatzaile bikainak

Propietate isolatzaileak funtsezkoak dira gailu erdieroaleen fabrikazioan. Silizioa nitruro zeramikak propietate isolatzaile onak ditu, eta horrek modu eraginkorrean isolatu eta babestu ditzake zirkuituaren osagaiak uneko ihesak edo interferentzia elektromagnetikotik, gailuaren egonkortasuna eta fidagarritasuna hobetzen laguntzen duena.

5. Eroankortasun termikoa eta eroankortasun termikoa

Silizio nitruro zeramikak eroankortasun termiko handia du, gailuak sortutako beroa modu eraginkorrean egin eta xahutzen dezake, gailuaren tenperatura egonkortasuna mantentzen laguntzen. Gailu erdieroaleen errendimendu handiko funtzionamenduarentzat garrantzitsua da.

1. Chucks elektrostatikoak eta grabatzeko ganbera osagaiak

Silizio nitruro zeramikak maiz erabiltzen dira semioreduzoren fabrikazioan egindako chucks elektrostatiko eta ganbera osagaien material gisa. Chucks elektrostatikoak ogiak edo substratuak konpontzeko eta egonkortzeko erabiltzen dira, eta grabaketa ganbera osagaiak gas korrosiboak eta tenperatura handiko inguruneak jasateko erabiltzen dira.

2. Gas banaketa plakak eta islatzaileak

Silizio nitruro zeramikak ere erabiltzen dira ekipamendu erdieroaleen fabrikazioan gas banaketa plakan eta islatzaileetan. Gasaren banaketa plakak erreakzio-ganberan gas erreaktiboak edo babesgarriak banatzeko erabiltzen dira, eta islatzaileak erreakzio-ganberaren barruan argiaren banaketa eta isla optimizatzeko erabiltzen dira erreakzioaren eraginkortasuna eta uniformetasuna hobetzeko.

3. titularrak eta osagai termikoak

Silizio nitruro zeramikak maiz erabiltzen dira titular gisa eta kudeaketa termikoko osagaiak erdieroaleen fabrikazio ekipoetan. Osagai hauek indar mekaniko onak izan behar dituzte, higadura erresistentzia eta eroankortasun termikoa ekipamendu funtzionamendu egonkorra eta gailuaren tratamenduaren zehaztasuna bermatzeko.

4. Leuntzeko mekaniko kimikoa (CMP)

Silizio nitruro zeramikoa oso erabilia da Pad material gisa, leuntzeko produktu kimikoan (CMP) prozesuan. Laburtasun bikaina du eta higadura erresistentzia du, eta laguntza egonkorra eman dezake leuntzeko prozesuan, Wafer gainazal erdieroalearen lautada eta zehaztasuna bermatzeko.