Grafito porotsua

SIC Substratu ekoizleek normalean diseinu gurutzagarria erabiltzen dute eremu beroko prozesurako grafito zilindro porotsua duena. Diseinu honek lurruntzeko eremua eta karga bolumena handitzen ditu. Prozesu berri bat garatu da kristal akatsak jorratzeko, transferentzia masa egonkortzeko eta SIC kristal kalitatea hobetzeko. Hedapen termikoaren eta estresaren erliebeetarako hazitako kristal erretilua finkatzeko metodoa biltzen du. Hala ere, grafito gurutzatuen eta grafito porotsuen merkatu hornidura mugatuak erronka sortzen du SIC kristal bakarraren kalitateari eta errendimenduari.

Vemen erdieroalearen grafitoaren funtsezko ezaugarriak:

1. Tenperatura Ingurumenaren Tolerantzia - Produktuak 2500 graduko Celsius ingurumena jasan dezake, beroarekiko erresistentzia bikaina erakutsiz.

2. Porositatearen kontrola - Vetek erdieroaleak porositate kontrol estua mantentzen du, errendimendu koherentea ziurtatuz.

3.Ultra-altua - Erabilitako grafito porotsuaren materialak garbitasun maila altua lortzen du arazketa prozesu zorrotzekin.

4.Egiaztatutako gainazaleko partikulen loteslea - Vetek erdieroaleak gainazaleko partikulen loteslearen gaitasuna eta hautsa atxikitzeko erresistentzia bikaina du.

5.Gas Garraioa, Difusioa eta Uniformitatea - Grafitoaren egitura porotsuak gas garraio eta difusio eraginkorra errazten du, ondorioz, gasaren eta partikulen uniformetasuna hobetuz.

6.Quality kontrola eta egonkortasuna - Vemen erdieroaleek garbitasun handia, garbitasun maila baxua eta egonkortasun kimikoa azpimarratzen dituzte kristal hazkuntzan kalitatea bermatzeko.

7.Emperature Kontrol eta Uniformitatea - Grafito porotsuaren eroankortasun termikoak tenperatura banaketa uniformea ​​ahalbidetzen du, hazkunde garaian estresa eta akatsak murriztuz.

8. Solutu difusio eta hazkunde tasa: egitura porotsuak bakarka banaketa areagotzen du, hazkunde tasa eta kristalen uniformetasuna hobetzen ditu.