VeTek semieroale erdieroaleen industriarako tantalio karburoko estaldura materialen fabrikatzaile nagusia da. Gure produktuen eskaintza nagusiak CVD tantalio karburoaren estalduraren piezak, SiC kristalen hazkuntzarako TaC estaldura sinterizaturako piezak edo erdieroaleen epitaxia prozesurako daude. ISO9001 gaindituta, VeTek Semiconductor-ek kalitatearen kontrol ona du. VeTek Semiconductor tantalio karburoaren estalduraren industrian berritzaile bihurtzeko dedikatzen da teknologia iteratiboen etengabeko ikerketa eta garapenaren bidez.
Produktu nagusiak hauek diraTaC estalitako gida eraztuna, CVD TaC estalitako hiru petalo gida eraztuna, Tantalo Karburoa TaC Estalitako Halfmoon, CVD TaC estaldura SiC epitaxial suszeptore planetarioa, Tantalo Karburozko Estaldura Eraztuna, Tantalo Karburoa Estalitako Grafito Porotsua, TaC Estaldura Errotazioaren Susceptor, Tantalo Karburozko Eraztuna, TaC Estaldura Biraketa Plaka, TaC estalitako obleen susceptor, TaC estalitako eraztun deflectora, CVD TaC Estaldura Estalkia, TaC estalitako Chucketab., purutasuna 5ppm-tik beherakoa da, bezeroen eskakizunak bete ditzake.
TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez. Abantaila beheko irudian erakusten da:
Tanto karburoa (TaC) estaldurak arreta irabazi du 3880 °C arteko urtze-puntu altuagatik, erresistentzia mekaniko bikainagatik, gogortasunagatik eta kolpe termikoekiko erresistentziagatik, tenperatura-eskakizun handiagoak dituzten erdieroale konposatuen epitaxia prozesuetarako alternatiba erakargarria dela eta. hala nola, Aixtron MOCVD sistema eta LPE SiC epitaxia prozesua. Gainera, aplikazio zabala du PVT metodoa SiC kristalen hazkuntza prozesuan.
Ezaugarri nagusiak:
●Tenperaturaren egonkortasuna
●Garbitasun ultra handikoa
●H2, NH3, SiH4, Si erresistentzia
●Stock termikoarekiko erresistentzia
●Grafitoarekiko atxikimendu sendoa
●Estaldura konformatua
● Tamaina gehienez 750 mm-ko diametroa (Txinako fabrikatzaile bakarra tamaina horretara iristen da)
Aplikazioak:
●Ostia eramailea
● Berokuntza suszeptore induktiboa
● Berogailu erresistentea
●Satelite diskoa
●Dutxa-burua
●Gida eraztuna
●LED Epi hargailua
●Injekzio pita
●Maskara-eraztuna
● Bero-ezkutua
Tantalo karburoa (TaC) estaldura zehar-ebaki mikroskopiko batean:
VeTek Semiconductor Tantalo Karburo Estalduraren parametroa:
|
TaC estalduraren propietate fisikoak
|
|
Dentsitatea
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Emisio espezifikoa
|
0.3
|
|
Dilatazio termikoaren koefizientea
|
6.3 10-6/K
|
|
Gogortasuna (HK)
|
2000 HK
|
|
Erresistentzia
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Egonkortasun termikoa
|
<2500℃
|
|
Grafitoaren tamaina aldatzen da
|
-10~-20um
|
|
Estalduraren lodiera
|
≥20um balio tipikoa (35um±10um)
|
TaC estaldura EDX datuak：
TaC estaldura kristalaren egituraren datuak:
|
Elementua
|
Ehuneko atomikoa
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Batez bestekoa
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
