Produktuak

Silizio Karburo Zeramika

VeTek Semiconductor zure bazkide berritzailea da erdieroaleen prozesamenduaren arloan. Erdieroale-mailako Silizio Karburo Zeramikazko materialen konbinazioen, osagaien fabrikazio-gaitasunen eta aplikazioen ingeniaritza-zerbitzuen zorro zabalarekin, erronka garrantzitsuak gainditzen lagunduko dizugu. Ingeniaritza teknikoa Silizio-karburoaren zeramika erdieroaleen industrian oso aplikatzen da materialaren errendimendu aparta dela eta. VeTek Semiconductor-en Silizio Karburo Zeramika ultrapurua maiz erabiltzen da erdieroaleen fabrikazio eta prozesatzeko ziklo osoan.


HEDAPENA ETA LPCVD PROZESATZEA

VeTek Semiconductor-ek loteen difusiorako eta LPCVD eskakizunetarako bereziki diseinatutako zeramikazko osagaiak eskaintzen ditu, besteak beste:

• Baffles eta euskarria
• Injektoreak
• Atorrak eta prozesu-hodiak
• Siliziozko karburoko palanak
• Ostia-ontziak eta idulkiak


ETCH PROZESUAREN OSAGAIAK

Minimizatu kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak plasma bidezko grabaketa prozesatzeko zorroztasunerako diseinatutako purutasun handiko osagaiekin, besteak beste:

Foku eraztunak

Toberak

Ezkutuak

Dutxak

Leihoak / Tapak

Beste osagai pertsonalizatu batzuk


PROZESATZE TERMIKO AZKARRA ETA PROZESU EPITAXIALAREN OSAGAIAK

VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industrian tenperatura altuko prozesatze termikoko aplikazioetarako egokitutako material aurreratuak eskaintzen ditu. Aplikazio hauek RTP, Epi prozesuak, difusioa, oxidazioa eta annealing biltzen dituzte. Gure zeramika teknikoak kolpe termikoak jasateko diseinatuta daude, errendimendu fidagarria eta koherentea eskainiz. VeTek Semiconductor-en osagaiekin, erdieroaleen fabrikatzaileek prozesaketa termiko eraginkorra eta kalitate handikoa lor dezakete, erdieroaleen ekoizpenaren arrakasta orokorrari lagunduz.

• Difusoreak

• Isolatzaileak

• Suszeptoreak

• Beste osagai termiko pertsonalizatuak


Silizio Karburo Birkristalizatuaren propietate fisikoak
Jabetza Balio Tipikoa
Laneko tenperatura (°C) 1600 °C (oxigenoarekin), 1700 °C (ingurune murriztea)
SiC / SiC edukia > %99,96
Si / Doako Si edukia <% 0,1
Solte-dentsitatea 2,60-2,70 g/cm3
Itxurazko porositatea <% 16
Konpresioaren indarra > 600 MPa
Hotza makurtzeko indarra 80-90 MPa (20 °C)
Makurtze-indarra beroa 90-100 MPa (1400 °C)
Hedapen termikoa @1500°C 4,70 10-6/°C
Eroankortasun termikoa @1200°C 23  W/m•K
Modulu elastikoa 240 GPa
Shock termikoen erresistentzia Oso ona


View as  
 
Sic Cantilever Paddles

Sic Cantilever Paddles

Vetekemicermicery Sic Cantilever Paddles purutasun handiko silizio karburoak dira, zabal-labe horizontaletan eta erreaktore epituxialetan oinarritutako wafer manipulatzeko diseinatutako besoak. Salbuespen termikoko eroankortasunarekin, korrosioarekiko erresistentziarekin eta indar mekanikoarekin, pauso horiek egonkortasuna eta garbitasuna bermatzen dituzte erdieroale inguruneak eskatzeko. Neurrira egindako neurrietan eskuragarri eta zerbitzu luzeko bizitzarako optimizatuta.
Sic blokea

Sic blokea

Vetekemicon-en SIC blokea eraginkortasun handiko artezketa eta silizioa eta zafiro ogiak mehe egiteko diseinatuta dago. Erorketa termiko bikainarekin (≥120 w / m · k), shock-erresistentzia termiko altua eta higaduraren erresistentzia handiagoa (Mohs ≥9), gure blokeek prozesuaren egonkortasuna hobetzen dute eta erreminta aldatzeko maiztasuna murrizten dute. Tamaina erabilgarri 120mm-tik 480mm-ra, aukera pertsonalizatuak eta entrega azkarra, askotariko produkzio-beharrak asetzeko.
SIC Zeramika Mintza

SIC Zeramika Mintza

Vetekemiciemicen SIC zeramikazko mintzak mintza ezorganiko mota bat dira eta mintzaren bereizketa teknologian mintz material sendoak dira. SIC mintzak 2000 baino gehiagoko tenperaturan despeditzen dira. Partikulen azalera leuna eta biribila da. Ez dago euskarri geruzan eta geruza bakoitzean poro edo kanal itxiak. Normalean poro tamaina desberdinak dituzten hiru geruzaz osatuta daude.
Zeramikazko plaka porotsua

Zeramikazko plaka porotsua

Gure zeramikazko plaka porotsuak silizio karburoz egindako zeramikazko material porotsuak dira osagai nagusiak eta prozesu bereziak prozesatuz. Erretinezko fabrikazioan, lurrun kimikoen gordailurako (CVD) eta bestelako prozesuetan ezinbesteko materialak dira.
Sic zeramikazko wafer boat

Sic zeramikazko wafer boat

Vetek erdieroalea SIC zeramikazko wafer boat hornitzailea da, fabrikatzailea eta fabrika Txinan. Gure SIC zeramikazko txalupa ezinbesteko osagaia da wafer manipulazio prozesu aurreratuetan, fotovoltaikoari, elektronikan eta erdieroaleen industriei ostatuan. Zure kontsulta espero dugu.
Siliziozko Karburo Zeramikazko Wafer Boat

Siliziozko Karburo Zeramikazko Wafer Boat

Vetek erdieroalea kalitate handiko ogien itsasontziak, oinezkoak eta ohitura-operadoreak eskaintzen espezializatuta dago, zutabe / zutabe / zutabe eta konfigurazio horizontalak, erdieroaleen prozesuaren eskakizunak betetzeko. Silikonazko karburo estalduraren fabrikatzaile eta hornitzaile garrantzitsu gisa, gure silizio karburo zeramikazko txalupak Europako eta Amerikako merkatuen alde egiten du kostu-eraginkortasun eta kalitate bikainagatik, eta oso erabiliak dira erdieroaleen fabrikazio prozesu aurreratuetan. Vetek erdieroaleak konpromisoa hartu du epe luzerako eta egonkorreko harreman kooperatibo egonkorrak bezero globalekin finkatzeko, eta batez ere Txinan zure erdieroale prozesuaren bazkide fidagarria bihurtzea espero du.
Txinan Silizio Karburo Zeramika fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Silizio Karburo Zeramika aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept