Web menua

Produktuen bilaketa

Hizkuntza

Produktuak

Silizio karburo solidoa

VeTek Semiconductor Silizio Solido Karburoa zeramikazko osagai garrantzitsu bat da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburo solidoan (CVD silizio-karburoa) akuaforte-ekipoko piezak barne hartzen ditufokatze eraztunak, gas dutxa-burua, erretilua, ertzeko eraztunak, etab. Silizio karburo solidoaren (CVD silizio karburoa) erreaktibotasun eta eroankortasun baxua dela eta, kloroa eta fluoroa duten grabaketa-gasen aurrean, material aproposa da plasma grabatzeko ekipoen fokatze-eraztunetarako eta beste eraztunetarako. osagaiak.


Esate baterako, foku-eraztuna obleatik kanpo eta oblearekin zuzeneko kontaktuan jartzen den zati garrantzitsu bat da, eraztunari tentsio bat aplikatuz eraztunetik igarotzen den plasma bideratzeko, eta, horrela, oblean plasma zentratuz, uniformetasuna hobetzeko. prozesatzea. Foku-eraztun tradizionala silizioz edokuartzoa, silizio eroalea foku-eraztunaren material arrunt gisa, siliziozko obleen eroankortasunetik ia gertu dago, baina eskasia fluoroa duen plasman grabatzeko erresistentzia eskasa da, sarritan erabiltzen diren makina-makinen materialak denbora tarte batean grabatzeko erresistentzia eskasa da. korrosio-fenomenoa, bere ekoizpen-eraginkortasuna larriki murrizten du.


SEtaC foku eraztun zaharraLan-printzipioa：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa:

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa
Elementua Eta CVD SiC
Dentsitatea (g/cm3) 2.33 3.21
Banda-hutsunea (eV) 1.12 2.3
Eroankortasun termikoa (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modulu elastikoa (GPa) 150 440
Gogortasuna (GPa) 11.4 24.5
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia Pobrea Bikaina


VeTek Semiconductor-ek silizio solido karburoa (CVD silizio karburoa) pieza aurreratuak eskaintzen ditu erdieroaleen ekipoetarako SiC fokatze eraztunak bezalakoak. Gure silizio karburo solidoko fokatze-eraztunek silizio tradizionala gainditzen dute, erresistentzia mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura altuko iraunkortasunari eta ioi-grabatzeko erresistentziari dagokionez.


Gure SiC fokatze-eraztunen ezaugarri nagusiak hauek dira:

Dentsitate handia grabaketa-tasa murriztuetarako.

Isolamendu bikaina banda hutsarekin.

Eroankortasun termiko handia eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.

Kolpe mekanikoen erresistentzia eta elastikotasun handia.

Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.

Erabiliz fabrikatuaPlasma-hobetutako lurrun-deposizio kimikoa (PECVD)teknikak, gure SiC fokatze-eraztunak erdieroaleen fabrikazioko grabatze-prozesuen eskakizun gero eta handiagoak betetzen dituzte. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiKapazitiboki akoplatutako plasma (CCP)sistemak.

VeTek Semiconductor-en SiC fokatze-eraztunek errendimendu eta fidagarritasun aparta eskaintzen dute erdieroaleen gailuen fabrikazioan. Aukeratu gure SiC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.


View as  
 
Purutasun handiko CVD lehengaia

Purutasun handiko CVD lehengaia

CVD garbitasun handiko CVDa CVD-k prestatutako lehengaia da silizio karburoen kristalen hazkuntzarako iturri onena lurrunaren garraio fisikoaren bidez. Vetek erdieroalearekin hornitutako purutasun handiko CVDko dentsitatea SI eta C-rekin duen gasaren errekuntza espontaneoz osatutako partikula txikienak baino handiagoa da eta ez du labe sinterikatuek behar eta lurruntzeko tasa ia etengabea du. Kalitate handiko SIC kristal bakunak haz ditzake. Zure kontsulta aurrera begira.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
SIC WABER GARRANTZAILE SOLIDOA

SIC WABER GARRANTZAILE SOLIDOA

Vetek erdieroalearen SIC Wafer garraiolaria tenperatura eta korrosioarekiko erresistentzientzako diseinatuta dago, erdieroaleen prozesuetan, eta garbitasun handiko eskakizunak dituzten wafer fabrikazio prozesuetarako egokia da. Vetek erdieroalea Txinan dagoen ogitarteko hornitzaile nagusia da eta espero du zure epe luzeko bikotea bihurtzea erdieroaleen industrian.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
SIC Disko itxurako dutxa sendoa

SIC Disko itxurako dutxa sendoa

Vetek erdieroalea erdieroaleen ekipamendu fabrikatzaile nagusia da Txinan eta fabrikatzaile profesionala eta SIC formako dutxa duen buruko hornitzaile profesionala. Diskoaren forma dutxako burua oso erabilia da, hala nola CVD prozesua, hala nola CVD prozesua erreakzio gasaren banaketa uniformea ​​bermatzeko eta CVD labeen osagai nagusi bat da.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
Sic zigilatzeko zatia

Sic zigilatzeko zatia

Txinan SIC zigilatzeko pieza fabrikatzaile eta fabrika aurreratu gisa. Vetek erdieroalearen SIC zigilatzeko zatia errendimendu handiko zigilatzeko osagaia da, erdieroaleen prozesamenduan eta muturreko tenperatura eta presio handiko beste prozesuetan. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
Silizio karburo dutxa burua

Silizio karburo dutxa burua

Silizio karburo dutxako buruak tenperatura altuko tolerantzia bikaina, egonkortasun kimikoa, eroankortasun termikoa eta gasaren banaketa errendimendu ona ditu, gasaren banaketa uniformea ​​lor dezakeena eta zinemaren kalitatea hobetzeko. Hori dela eta, normalean tenperatura altuko prozesuetan erabiltzen da, esaterako, lurrun kimikoen gordailua (CVD) edo lurrun fisikoko gordailua (PVD) prozesuak. Ongietorri zure kontsulta gehiago gurekin, Vetek erdieroaleari.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
Silizio karburo zigilua

Silizio karburo zigilua

Silikonazko karburo zigilu profesionalaren eraztunen fabrikatzaile eta fabrika gisa, Vetek erdieroalea Silicon Carbide Zigilu eraztuna oso erabilia da prozesatzeko ekipoen erdieroaleetan, korrosioarekiko erresistentzia, indar mekanikoa eta eroankortasun termikoa direla eta. Bereziki egokia da CVD, PVD eta Plasma grabaketa bezalako tenperatura altuak eta erreaktiboak dituzten prozesuetarako eta aukera garrantzitsuak dira erdieroaleen fabrikazio prozesuan. Zure kontsulta gehiago ongi etorriak dira.
Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>
Txinan Silizio karburo solidoa fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Silizio karburo solidoa aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.
Albisteen Gomendioak
Zergatik da SIC estaldura funtsezko material nagusia SIC EPITAXIAL HAZKUNTZA?
Zergatik da SIC estaldura funtsezko material nagusia SIC EPITAXIAL HAZKUNTZA?Gehiago ikusi >>
Grafito porotsuak nola hobetzen du silizio karburo kristalaren hazkundea?
Grafito porotsuak nola hobetzen du silizio karburo kristalaren hazkundea?Gehiago ikusi >>
Porous Tantalum Carbide: SIC kristal hazkuntzarako materialen belaunaldi berria
Porous Tantalum Carbide: SIC kristal hazkuntzarako materialen belaunaldi berriaGehiago ikusi >>
8 hazbeteko silizio karburo bakarreko kristalezko labeen teknologia oinarritzat hartuta
8 hazbeteko silizio karburo bakarreko kristalezko labeen teknologia oinarritzat hartutaGehiago ikusi >>
Silizio Epitaxiaren ezaugarriak
Silizio Epitaxiaren ezaugarriakGehiago ikusi >>
ALD geruza atomikoaren deposizio errezeta
ALD geruza atomikoaren deposizio errezetaGehiago ikusi >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept