SIC zeramikazko zeramikazko materiala da silizioaren (SI) eta karbonoen (C) elementuen erreakzioak sortutakoa, oso gogortasun, beroarekiko erresistentzia eta egonkortasun kimikoarekin
Menifikazio handiko munduko apartamentuak, zehaztasuna eta egonkortasuna dira, eta hortik dator chuck elektrostatikoa (ESC). Holding tresna bat baino gehiago, ESCak indar elektrostatikoak erabiltzen ditu grabaketa modu kritikoetan, grabaketa, deposizio eta ioi inplantazio prozesuetan. Baina nola funtzionatzen du benetan? Zergatik da estutze mekaniko tradizionalaren gainetik? Eta zer paper jokatzen du nanoeskalaren zehaztasuna eta errendimendu eraginkortasuna lortzeko? Ongi etorri irakurtzeko.
Chuck elektrostatikoaren decuck printzipioa bere lan-fluxuaren funtsezkoa da, indar elektrostatikoa ezabatzea eta wafer askatzeko mekanismoak dakartza.
Kristalezko karbonoa grafitizatutako karbono bat da, beira eta zeramikaren propietateak uztartzen dituena. Ezaugarri asko ditu, hala nola tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, eroankortasun elektriko ona, eta abar. Blog honek ikerketa-historia eta etorkizuneko garapenaren garapenaren joera aztertzen du, irakurtzea merezi duena.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy