Berriak

Epitarxo labearen lan printzipioa tenperatura altuko eta presio altuko substratu batean material erdieroaleak gordetzea da. Silizioaren hazkunde epitaxiala kristal geruza bat haztea da, substratuaren orientazio berdina eta siliziozko kristalezko kristal bakarreko substratuaren inguruko lodiera desberdinak. Artikulu honek batez ere silizio epitaxial hazkunde metodoak aurkezten ditu: EPITAXIA EPITAXIA ETA EPITAXIA LIKIDOAREN FASEA.

Epaiketa kimikoen gordailua (CVD) erdieroaleen fabrikazioan zinema-material meheak ganbaran gordetzeko erabiltzen da, SiO2, bekatua eta abar barne, eta normalean erabilitako moten artean PECVD eta LPCVD dira. Tenperatura, presioa eta erreakzio gas mota egokituz, CVDk garbitasun altua, uniformetasuna eta zinema estaldura ona lortu ditu prozesuko eskakizun desberdinak betetzeko.

Artikulu honetan, batez ere, silizio karburo zeramikaren aplikazio aukera zabalak deskribatzen dira. Silizio karburo zeramikazko zeramikazko pitzadurak eta dagozkien soluzioen kausak aztertzea ere oinarritzen da.