8 hazbeteko CVD Silizio-karburoa (SiC) estalitako epitaxia goiko eraztuna

8 hazbeteko SiC Epi Top Eraztunaren ezaugarri nagusiak

● Garbitasun handia: % 99,9995 gutxienez. Metala ez da epi-geruzara migratuko. Honek obleen eramailearen kontzentrazioa behar duen tokian mantentzen du.

● Partikulen ezabaketa: CVD egitura trinkoa da. Pororik ez. Ez du partikularik isuriko tresna martxan dagoen bitartean. Lantegiek etekin hobeak ikusten dituzte horrela.

● Beroarekiko erresistentzia: Eraztuna egonkor mantentzen da 1500°C-tan. CTE (hedapen termikoa) baxuak berotze-/hozte-ziklo azkarrean okertu ez izatea esan nahi du.

● Egonkortasun kimikoa: CVD SiC solidoak H2 eta HCl gasei aurre egiten die. Gainera, NH3ri aurre egiten dio. Ez du estaldurarik kentzeko. Ez da degradatzen CVD ingurune gogorretan.

● Osagaien bizitza: gainazala oso gogorra da. HF/HCl-ren garbiketa kimiko errepikatuen bizirik irauten du. Horrek ordezkapen maiztasuna murrizten du. Era berean, fabrikaren jabetza-kostu osoa murrizten du.

Zehaztapen Teknikoak

Loteen arteko estalduraren lodieraren uniformetasuna 10um-tan kontrolatzen da

Aplikazioak

CVD SiC epi goiko eraztuna oso erabilia da:

● Silizio epitaxia (Si Epi) erreaktoreak

● Silizio-karburoaren epitaxia (SiC Epi)

● MOCVD sistemak

● CVD jalkitzeko ekipoak

Normalean parekatuta:

● Suszeptoreak

● Ostia-eramaileak

● Eraztunak aurrez berotu

● Epitaxi erreaktoreak

Zergatik aukeratu VETEK SiC Epi Top Ring?

● Fabrikazio-gaitasun osoa: 

Lehengaien arazketatik zehaztasun mekanizatu eta CVD estaldurara arte, VETEK-ek produkzio-prozesu osoa kontrolatzen du erdieroaleen kalitate koherentea bermatzeko.

● Zehaztasun handia: 

Mikra mailako mekanizazioa erabiltzen dugu. CVD lodiera oso uniformea ​​da. Horrek eraztun bakoitzak modu berdinean funtzionatzen du.

Ohiko galderak

(1) Zer egiten du SiC epi goiko eraztunak?

Eraztunak beroa eta gasaren fluxua kudeatzen du. Film mehea oblean zehar uniformeki hazten dela ziurtatzen du.

(2) Zergatik da CVD SiC grafitoa baino hobea?

Grafitoa porotsua da. Grafitoak poroak ditu eta gasa askatzen du. CVD SiC solido trinkoa eta garbia da. Askoz gehiago irauten du tresna korrosiboetan.

(3) 8 hazbeteko SiC goiko eraztuna pertsonalizatu al daiteke?

Bai. Zure tresnaren marrazki zehatzak eraikitzen ditugu. Geometria egokitu dezakegu zure prozesuaren arabera.

(4).Zer industriak erabiltzen dituzte SiC epitaxia eraztunak?

Erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen dira batez ere, energia-gailuak, RF gailuak eta SiC obleak ekoizten barne.