MOCVD SiC estalitako susceptor

Parametro Teknikoak

CVD SIC FILM KRISTAL EGITURA

Produktuaren definizioa eta konposizioa

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor hirugarren belaunaldiko erdieroaleen prozesamendu epitaxialerako bereziki diseinatutako obleak garraiatzeko osagai bikaina da, hala nola GaN eta SiC. Produktu honek errendimendu handiko bi materialen propietate fisikoak integratzen ditu:

Garbitasun handiko grafito-substratua: Prentsatze isostatikoen teknologia erabiliz fabrikatua, oinarrizko materialak egiturazko osotasuna, dentsitate handia eta prozesamendu termikoaren egonkortasuna duela ziurtatzeko.

CVD SiC estaldura: Silizio karburo (SiC) tentsiorik gabeko geruza babesgarri trinkoa hazten da grafitoaren gainazalean, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) teknologia aurreratuaren bidez.

Zergatik da VETEK zure errendimenduaren bermea

Goreneko zehaztasuna uniformetasun termikoaren kontrolean: Eramaile konbentzionalak ez bezala, VETEK suszeptoreek gainazal osoan zehar bero-transferentzia oso sinkronizatua lortzen dute estalduraren lodieraren eta erresistentzia termikoaren nanometro-eskalako doitasun-kontrolaren bidez. Kudeaketa termiko sofistikatu honek obleen gainazaleko uhin-luzeraren desbideratze estandarra (STD) modu eraginkorrean murrizten du, oblea bakarreko kalitatea eta lotearen koherentzia orokorra nabarmen handituz.

Epe luzerako babesa Zero Partikula Kutsadurarekin: Gas oso korrosiboak dituzten MOCVD erreakzio-ganberetan, grafitozko idulki arruntek partikulak ezkatatzeko joera dute. VETEK-en CVD SiC estaldurak inertetasun kimiko paregabea du, grafitozko mikroporoak ixten dituen ezkutu penetraezin gisa jokatzen du. Honek substratuaren ezpurutasunen erabateko isolamendua bermatzen du, GaN edo SiC geruza epitaxialen edozein kutsadura saihestuz.

Nekearekiko erresistentzia eta zerbitzu-bizitza paregabea:VETEK-en jabedun interfazearen tratamendu-prozesuari esker, gure SiC estaldurak hedapen termiko optimizatua lortzen du grafitoaren substratuarekin. Muturreko tenperaturaren arteko maiztasun handiko ziklo termikoetan ere, estaldurak atxikimendu handia mantentzen du mikro-arraildurarik gabe zuritu edo garatu gabe. Horrek nabarmen murrizten du ordezko piezen mantenimenduaren maiztasuna eta jabetza-kostu osoa murrizten du.

Gure tailerra