Zer da kuartzozko itsasontzia?

Quartz itsasontzia erdieroaleen fabrikazio prozesuan erabilitako funtsezko osagaia da, batez ere tenperatura handiko ogiak prozesatzeko erabiltzen dena, hala nola, difusioa, oxidazioa eta barneratzea. Egonkortasun termiko bikaina, kutsadura baxuko ezaugarriak eta korrosioarekiko erresistentzia ezinbesteko materiala bihurtzen da erdieroale industrian. Artikulu honetan, material, propietate fisikoak, sailkapen, aplikazio eszenatokiak eta kuartzozko itsasontziaren eta PECVD grafito itsasontzien arteko desberdintasunak landuko dira.

Ⅰ. Kuartzozko itsasontziaren materiala

Kuartzarren garraiatzailearen osagai nagusia purutasun handiko silizio dioxidoa da (SiO₂), eta garbitasuna normalean% 99,99 baino gehiago (erdieroale kalifikazioa) izan behar da. Garbitasun handiko kuartzozko material honek kuartzozko eramaileak ez dituela ezpurutasunak sartuko ez dituztela erdieroaleen fabrikazio prozesuan sartuko gabeziak metalezko ezpurutasunak kutsatzea murrizteko.

Prestaketa prozesuaren arabera, kuartzoko materialak bi kategoriatan banatu daitezke:

● kuartzo naturala: Kristalezko arazketatik egina, hidroxiliko eduki handia (100-200 ppm inguru), kostu baxua, baina tolerantzia ahula tenperatura altuko aldaketei.

● kuartzoz sintetikoa.

Gainera, kuartzozko itsasontzi batzuk, hala nola titaniozko (ti) edo aluminiozko (al) metalez dopildu egiten dira, deformazioarekiko erresistentzia hobetzeko edo argi-transmisioa egokitzeko, UV prozesuen beharrak asetzeko.

Ⅱ. Zeintzuk dira kuartzoko itsasontzien propietate fisiko nagusiak?

● Tenperatura altuko erresistentzia: Quartz-en urtze-puntua 1713 ºC-ko altuena da, eta denbora luzez 1200 ºC-tan lan egin dezake eta 1500 ºC-tan aurre egiteko denbora gutxian.

● Hedapen termiko baxuko koefizientea: Hedapen termikoko koefizientea 0,55 × 10⁻⁶ / ° C baino ez da. Errendimendu bikain honek dimentsioaren egonkortasuna tenperatura altuetan bermatzen du eta estres termikoaren ondorioz pitzadura ekiditen du.

● Inertasun kimikoa: Azido hidrofluorikoa (HF) eta azido fosforiko beroa izan ezik, kuartzoak azido sendoak, alkalis sendoak eta gas korrosibo gehienak (esaterako, Cl₂, O₂) aurre egin dezake.

● Isolamendu elektrikoa: Erresistentzia 10¹⁶ω · cm bezain altua da, plasma prozesuaren eremu elektrikoaren banaketarekin interferentziak saihestuz.

● Argiaren transmisioa: Ultraviolet-en transmisio bikaina Infragorri bandara (>% 90), arinak lagundutako prozesuetarako egokiak (ultraviolet sendatzeko).

III. Kuartzoetako itsasontzien sailkapena

Diseinu egitura eta erabilera eszenatoki desberdinen arabera, kuartzozko itsasontziak kategoria hauetan banatu daitezke:

● Kuartzontzi horizontala

Hodi horizontaleko labeei aplikagarria (difusio horizontal labea), oxidazio, hedapen, barneratzeko eta bestelako prozesuetarako erabiltzen da.

Ezaugarriak: 100-200 ogiak eraman ditzake, normalean diseinu irekia edo erdi itxia dutenak.

● kuartzozko itsasontzi bertikala

Labe bertikaletan aplikagarria (labe bertikala), LPCVD prozesuetarako, oxidazio eta truke prozesuetarako erabilia.

Ezaugarriak: egitura trinkoagoa, wafer eramateko gaitasuna areagotu dezake eta prozesuan zehar partikulen kutsadura murrizteko.

● Kuartzontzi pertsonalizatua

Prozesuen eskakizun desberdinen arabera diseinatua, wafer bakarreko laguntza edo estutu egitura berezia erabil daiteke wafer prozesatzeko efektuak optimizatzeko.

Kuartzoko itsasontzien fabrikatzaile eta hornitzaile nagusi gisa Txinan,VetekemicIn-ek kuartzozko eramaileen produktu pertsonalizatuak diseinatu eta fabrikatu ditzake zure benetako beharren arabera. Produktuaren xehetasun gehiago lortzeko, ikusi:

IV. Zeintzuk dira kuartzozko itsasontzien eskaera eszenatokiak erdieroaleen fabrikazioan?

Quartzontziak oso erabiliak dira erdieroaleen fabrikazioaren esteketan, batez ere aplikazio eszenatokiak barne:

4.1 Oxidazio termikoa

● Prozesuaren deskribapena: Wafer tenperatura altuko oxigeno edo ur lurrunaren ingurunean berotzen da silizio dioxidoa (SiO₂) filma osatzeko.

● Quartz itsasontziaren ezaugarriak:

1) Bero erresistentzia handia, 1000 ~ 1200 ºC-ko tenperatura altuak jasan ditzake.

2) Inertutasun kimikoa, kuartzozko itsasontziak azido sendoak, alkalis sendoak eta gas korrosiboak erresistenteak dira, beraz, oxido filmaren kalitateari eragin diezaioke.

4.2 Difusio prozesua

● Prozesuaren deskribapena: ezpurutasunak (fosforoa eta boroa, esaterako) silizio-ogitartean difual temperatiboetan diputatzeko geruza bat da.

● Quartz itsasontzien ezaugarriak:

1) Kutsadura baxua, metalezko kutsadura saihestea dopinaren kontzentrazioaren banaketari eraginez.

2) Egonkortasun termiko altua, 0,55 × 10⁻⁶ / ° C baino ez ditu hedapen termikoko koefizientearekin, difusio prozesu uniformea ​​ziurtatuz.

4.3 Irekitzeko prozesua

● Prozesuaren deskribapena: Tenperatura altuko tratamendua estresa kentzeko erabiltzen da, material kristalaren egitura hobetzeko edo ioi inplantazio geruza aktibatzeko.

● Quartz itsasontzien ezaugarriak:

1) urtzeko puntuarekin 1713 ºC-ko altuera duenarekin, berogailu eta hozte azkarra jasan dezake estres termikoaren ondorioz sortutako pitzadurak saihesteko.

2) tamaina handiko kontrol zehatza berogailu uniformea ​​bermatzeko.

4.4 Presio baxuko produktu kimikoen gordailua (LPCVD)

● Prozesuaren deskribapena: Presio baxuko ingurune batean, silizio nitride (si₃n₄) bezalako film mehe uniformea ​​da gasaren erreakzioaren bidez.

● Quartz itsasontziaren ezaugarriak:

1) Labe hodietarako bertikaletarako egokia, filmaren deposizio uniformetasuna optimizatu dezake.

2) Partikulen kutsadura baxua, zinemaren kalitatea hobetu.

Ⅴ. Zeintzuk dira kuartzozko itsasontziaren eta PECVD grafito itsasontziaren arteko desberdintasunak?

Alde eszenatoki tipikoak:

● PECVD prozesua: Itsasontzien grafitoak plasma uniformetasuna optimizatu dezake beren eroankortasunagatik, eta ez dute kuartzoaren tenperatura errendimendua behar tenperatura baxuko inguruneetan (300-400 ° C).

● Tenperatura altuko oxidazio labea: Vetekemiceriko kuartzozko itsasontziak ordezkaezinak dira tenperatura altuko erresistentziagatik, grafitoa erraz oxidatzen baita oxigeno ingurune batean oxigeno ingurunean, oxigeno ingurune batean, ganbera kutsatzen dutenak.