Zer da Tantalum Carbide (TAC)?

Tantalum karburoa (TAC)Tantalum (TA) eta karbono (c) konposatu bitarra da, normalean formula kimikoarekin Tacₓ gisa adierazten da (non x 0,4tik 1era bitartekoa). Zeramikazko material errefraktorio gisa sailkatzen da gogortasun, tenperatura altuko egonkortasun eta eroankortasun metalikoarekin.

1. Tantalum karburoaren egitura

1.1 Konposizio kimikoa eta kristal egitura

Tantalum Carbide Tantalum (TA) eta karbonoz osatutako zeramikazko konposatu bitarra da.

Bere kristal egitura aurrez aurre zentratutako kubikoa da (FCC), eta horrek gogortasun eta egonkortasun bikaina ematen du.

1.2 Lotura propietateak

Lotura kobalente sendoak Tantalum karburoa oso gogorra eta deformazioarekiko erresistentea bihurtzen du.

TACek oso difusio koefiziente baxua du eta egonkorra izaten jarraitzen du tenperatura altuetan ere.

Tantalum Carbide (TAC) zeharkako sekzio mikroskopikoan estaldura

2. Tantalum karburoaren propietate fisikoak

2.1 Ultra-High Urtzeko puntua

3.880 ºC-ko urtze-puntuarekin, Tantalum Carbide-k ez du material ezagunen urtze-punturik altuenetako bat, eta ondorioz, muturreko tenperaturetan egonkortasun bikaina da.

2.2 Gogortasun bikaina

Gutxi gorabehera 9-10eko gogortasunarekin, diamantetik gertu dago eta, beraz, higadurarekiko estalduretan oso erabilia da.

2.3 Eroankortasun elektriko ona

Zeramikazko material gehienetan ez bezala, TACek metalezko moduko eroankortasun elektrikoa du, eta horrek balio du gailu elektroniko jakin batzuetan aplikazioetarako balio duena.

2.4 Korrosioa eta oxidazioarekiko erresistentzia

TAC oso erresistentea da azido korrosioarekiko eta bere osotasun egiturazkoa mantentzen du denbora luzez ingurune gogorretan.

Hala ere, TACak 1.500 ºC-tik gorako Tantalum Pentoxide (ta₂o₅) airean oxidatu dezake. 

3. Amaitutako arruntak Tantalum karburo produktuak

3.1 Tantalum karburo estalitako piezak

● Cvd tantalum karburoa estalitako susmoa: Epitaxia erdieroaleetan eta tenperatura altuko prozesuan erabiltzen da.

● Tantalum karburo estalitako grafitazko piezak: Tenperatura altuko labeetan eta wafer prozesatzeko ganberetan erabiltzen da. Horren adibide dira. Karburoen grafito porotsua, prozesuen eraginkortasuna eta kristal kalitatea nabarmen hobetzen ditu.

● Tantalum karburo estalitako biraketa plaka: Vetekemicon-en TAC estalitako plakak garbitasun handiko konposizioa du, 5ppm garbitasun edukiarekin eta egitura trinkoa eta uniformea, hau da, LPE EPI sisteman, AIXTron System, Tel CVD Sistema, Veeco System, TSI sistema. Sistemak, TSI sistemak.

● TAC estalitako berogailua: TAC estalduraren ohiko urtze-puntuak (~ 3880 ° C) konbinatzeak tenperatura oso altuak funtzionatzeko aukera ematen du, batez ere Gallium Nitride (GAN) Geruza Epituxialen hazkuntzan metalezko produktu kimiko organikoko metalikoan (MOCVD) prozesua.

● Tantalum karburo estalitako gurutze: CVD Tac estalitako gurutzatuek askotan funtsezko eginkizuna dute PVTren bidez SIC kristal bakarraren hazkuntzan.

3.2 Ebakitzeko tresnak eta higadurarekiko osagaiak

● Tantalum karburo estalitako karburo ebaketa tresnak: Tresna bizitza eta mekanizazio zehaztasuna hobetu.

● Aerospazioko toberak eta bero ezkutuak: Muturreko bero eta ingurune korrosiboetan babesa eman.

3.3 Tantalum Carbide Errendimendu handiko Zeramikazko Produktuak

● Espazio-ontzien babes termiko sistemak (TPS): Espazio-ontzi eta ibilgailu hipersonikoetarako.

● Erregai nuklearren estaldurak: Babestu erregai nuklearren pelletak korrosiotik.

4. Tantalum karburo aplikazioak erdieroaleen fabrikazioan

4.1 Tantalum karburo estalitako garraiolariak (suszeptorea) prozesu epituxialetarako

Eginkizuna: Tantalum karburo garraiolariei aplikatutako estaldurak uniformetasun termikoa eta egonkortasun kimikoa hobetzea ahalbidetzen dute lurrun kimikoen gordailuan (CVD) eta metal-organikoko lurrun kimikoen gordailua (MOCVD) prozesuak.

Abantaila: prozesuaren kutsadura murriztua eta garraiolariaren bizitza luzatua.

4.2 Etch eta gordailuen osagaiak

Wafer Transfer Eraztunak eta ezkutuak: Tantalum karburo estaldurak plasma-ganberen iraunkortasuna hobetzen du.

Abantaila: grabaketa ingurune oldarkorrak jasaten ditu eta prezipitazio kutsatzaileak murrizten ditu.

4.3 Tenperatura altuko berotzeko elementuak

SIC CVD hazkundearen aplikazioa: Tantalum karburo estalitako berotzeko elementuak silizio karburoaren (SIC) wafer fabrikazio prozesuaren egonkortasuna eta eraginkortasuna hobetzen dira.

4.4 Erdieroaleen fabrikaziorako ekipoetarako estaldura babesgarriak

Zergatik behar duzu TAC estaldura?  Erdieroaleen fabrikazioak muturreko tenperaturak eta gas korrosiboak dakartza, eta tantalum karburo estaldurak ekipamenduaren egonkortasuna eta bizitza hobetzeko eraginkorrak dira.

5. Zergatik aukeratuElektronira?

VetekemicIn fabrikatzaile eta hornitzaile nagusia daTantalum karburo estalduraTxinan erdieroale industriarako materialak. Gure produktu nagusiak CVD Tantalum Carbide estalitako piezak dira, Sintered Tac estalitako piezak SIC kristal hazkuntzarako edo epitaxia prozesu erdieroaleentzat. VetekemicIn-ek Tantalum Carbide estalduraren industrian berritzaile eta liderra izateko konpromisoa hartu du I + G eta teknologia iterazioaren bidez.