Industria Berriak

Epaiketa kimikoen gordailua (CVD) erdieroaleen fabrikazioan zinema-material meheak ganbaran gordetzeko erabiltzen da, SiO2, bekatua eta abar barne, eta normalean erabilitako moten artean PECVD eta LPCVD dira. Tenperatura, presioa eta erreakzio gas mota egokituz, CVDk garbitasun altua, uniformetasuna eta zinema estaldura ona lortu ditu prozesuko eskakizun desberdinak betetzeko.

Artikulu honetan, batez ere, silizio karburo zeramikaren aplikazio aukera zabalak deskribatzen dira. Silizio karburo zeramikazko zeramikazko pitzadurak eta dagozkien soluzioen kausak aztertzea ere oinarritzen da.