Zein da Tac estalitako zatien aplikazio espezifikoa erdieroale eremuan?

Tantalum Carbide (TAC) estalduraren propietate fisikoak

Tantalum Carbide (TAC) estaldura erdieroalearen eremuan aplikatzea

1. Hazkunde Epitarioen Erreaktoreen Osagaiak

TAC estaldura oso erabilia da Vapor Vapor Deposition (CVD) Gallium Nitride (GAN) EPITAXIALA ETA SILICON CARBIUAL (SIC) EPITAXIAL, barnewafer eramaileak, satelite bidezko platerak, toberak eta sentsoreak. Osagai hauek iraunkortasun eta egonkortasun handia behar dute tenperatura altu eta ingurune korrosiboetan. TAC estaldurak bere zerbitzuaren bizitza modu eraginkorrean hedatu eta errendimendua hobetu dezake.

2. Kristalaren hazkunde osagai bakarra

SIC, Gan eta Aluminum Nitride (AIN) bezalako materialen hazkuntza prozesu bakarrean,TAC estalduraGiltza-osagaietan aplikatzen da, esaterako, gurutzilak, hazien kristalezko titularrak, gida eraztunak eta iragazkiak. TAC estaldurako material grafikoek garbitasun migrazioa murriztu dezakete, kristalaren kalitatea hobetu eta akatsaren dentsitatea murriztu dezakete.

3. Tenperatura handiko industria osagaiak

TAC estaldura tenperatura altuko aplikazioetan erabil daiteke, esaterako, berotzeko elementu erresistenteak, injekzio toberak, eraztunak eta brasing lanak. Osagai horiek errendimendu ona mantendu behar dute tenperatura handiko inguruneetan, eta TACen beroarekiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia aukera ezin hobea da.

4. Berogailuak MOCVD sistemetan

TAC estalitako grafito berogailuak arrakastaz sartu dira metalezko produktu kimikoen gordailuan (MOCVD) sistemetan. PBN estalitako berogailu tradizionalekin alderatuta, TAC berogailuak eraginkortasun hobea eta uniformetasuna eman ditzake, energia kontsumoa murrizteko eta gainazaleko emisitatea murrizteko, horrela osotasuna hobetuz.

5. Wafer eramaileak

TAC estalitako wafer eramaileek paper garrantzitsua dute hirugarren belaunaldiko erdieroaleen materialak prestatzeko, hala nola SIC, Ain eta Gan. Ikerketek erakutsi dute korrosio tasaTAC estaldurakTenperatura handiko amoniako eta hidrogeno inguruneetan hori baino askoz txikiagoa daSic estaldurak, epe luzerako erabileran egonkortasun hobea eta iraunkortasuna erakusten du.