Nola hobetzen du TaC estaldurak grafitozko osagaien zerbitzu-bizitza? - VeTek Semiconductor

Cvd tantalum karburo estaldurapurutasun handiko grafitoaren substratuaren gainazalean tantalio-karburoaren (TaC) lurrun-gordaketaren bidez ekoizten da VeTek Semiconductor-en jabedun lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua erabiliz.

Tantalum Carbide (TAC) estaldurak nabarmen hobetzen du zerbitzuaren bizitzagrafito zatiakMekanismo anitzen bidez, batez ere tenperatura altukoetan, oso korrosiboko inguruneetan, esaterako, erdieroaleen fabrikazioa eta kristal hazkuntza. 

Hona hemen arrazoi zehatzak zergatikTAC estaldurakgrafitozko piezen iraunkortasuna hobetu:

●  Tenperatura handiko erresistentzia hobetua

Egonkortasun termiko oso altua: TAC estaldurak egonkorrak izan daitezke 2000 ºC-ko tenperatura oso altuak eta 2200C-tan ere funtziona dezake. Tenperatura altuko tolerantzia honek estaldurari esker, erdieroaleen fabrikazioan metal txikien higadurari eta gas kimikoen higadurari aurre egiteko aukera ematen du, eta, horrela, grafito piezen zerbitzua zabalduz.

● Korrosioarekiko erresistentzia bikaina

Erosio kimikoen erresistentzia: TAC estaldurarekiko erresistentzia handia dute, hala nola, hidrogenoa, amoniakoa eta silikonontzako lurruna. Horrek esan nahi du kristal hazkunde prozesuan zehar, estaldurak ezbehar migrazioa inhibitu dezakeela eta kristal kalitatea eta errendimendua hobetu ditzakeela.

●  Propietate mekaniko hobetuak

Itsasketa ona eta shock termikoarekiko erresistentzia: TAC estaldurak grafito substratuarekiko atxikimendu sendoa dute, estaldurak ez duela tenperatura altuko eragiketetan zehar zuritu edo delinkatuko. Gainera, shock-erresistentzia termiko bikainak tenperatura aldaketa bizkorrak jasan ditzake pitzatu edo zuritu gabe, grafitoen piezen zerbitzuaren bizitza luzatuz.

● garbitasunaren kutsadura murriztea

Garbitasun oso altua: TaC estaldurek ezpurutasun-eduki oso baxua dute, eta horrek tenperatura altuko baldintzetan gerta daitezkeen kutsadura-arazoak murrizten laguntzen du. Nahi ez diren ezpurutasunak geruza epitaxialera migratzea eragotziz, TaC estaldurek kristalen hazkuntza prozesuaren garbitasuna eta kalitatea nabarmen hobetzen dituzte.

● Kudeaketa termikoa optimizatu

Erorketa termikoa eta erresistentzia hobetzea: TAC estaldurek eroankortasun termiko nahiko baxua dute eta erresistentzia termiko nahiko baxua dute, berogailuetan eta beste kudeaketa termikoko beste osagaietan aukera ematen du energia-eraginkortasuna hobetzeko eta energia-galera murrizteko. Ezaugarri honek funtzionamendu-eraginkortasuna hobetzen du, baizik eta gehiegizko neurriak eragindako kalteak murrizten ditu.