SiC estalitako idulkia

SIC estalitako grafitoko piezak ekoizten dituzten urteetan, Vetek erdieroaleek SIC estalitako pedestal sorta zabala eman dezakete. Kalitate handiko SIC estalitako pedestalak aplikazio asko bete ditzake, behar izanez gero, lortu gure lineako zerbitzua SIC estalitako pedestalari buruz. Beheko produktuaren zerrendaz gain, zure SIC estalitako oinezko bakarra pertsonalizatu dezakezu zure beharren arabera.

MBE, LPE, PLD, MOCVD metodoarekin alderatuta, hazkunde-eraginkortasun handiagoa du, kontrol-zehaztasun hobea eta kostu nahiko baxua eta oso kostu txikia da. Epitariozko materialen erdieroaleen eskaera gero eta handiagoa da, batez ere zabal baterakoEpitarelektronikoko material optoelektroniko sorta, hala nola LD eta LED, oso garrantzitsua da ekipoen diseinu berriak hobetzea ekoizpen ahalmena areagotzeko eta kostuak murrizteko.

Horien artean, MOCVD EPITAXIAL HAZKARITZAN ERABILTZEN DIRA SUBSTRATE-rekin kargatutako grafito erretilua MOCVD Ekipamenduen zati oso garrantzitsua da. III taldeko nitrures taldeko hazkunde epitaxialean erabilitako grafitoaren erretilua, amoniakoa, hidrogenoa eta grafitoa duten beste gasak saihesteko, orokorrean grafito erretiluaren gainazalean silizio karburo babes geruza mehe batekin estaliko da. 

Materialaren hazkuntza epitaxialean, silizio karburoaren babes-geruzaren uniformetasuna, koherentzia eta eroankortasun termikoa oso handiak dira eta bere bizitzarako baldintza batzuk daude. Vetek Semiconductor-en SiC estalitako idulkiak grafitozko paleten ekoizpen kostua murrizten du eta haien zerbitzu-bizitza hobetzen du, eta horrek zeregin handia du MOCVD ekipoen kostua murrizteko. SIC estalitako pedestala MOCVD erreakzio ganberaren zati garrantzitsua da, ekoizpenaren eraginkortasuna modu eraginkorrean hobetzen duena.

CVD SiC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak:

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak