PZT oblea piezoelektriko (PZT Si/SOI on)

1. Arkitektura Teknikoa

Gure obleek geruza anitzeko pila-egitura sofistikatua dute, MEMS prozesamendu konplexuan atxikimendu, eroankortasun eta erantzun piezoelektriko optimoak bermatzeko diseinatuta:

 ●Goiko elektrodoa (gako-geruza): Pt (Platinoa).

● Geruza piezoala (geruza nagusia): PZT.

● Tarteko geruzak: Buffer-geruza, beheko elektrodoa eta atxikimendu-geruza biltzen ditu aleen orientazioa eta egitura-egonkortasuna optimizatzeko.

● Substratua: Si edo SOI obleekin bateragarria.

2. Kalitatearen ziurtapena eta mikroegituraren analisia

Fidagarritasun handia bermatzen dugu karakterizazio tekniko zorrotzaren bidez:

 ●SEM Analisia: Mikroskopia Elektronikoko Mikroskopia (SEM) irudiek azalera trinko eta pitzadurarik gabeko morfologia erakusten dute, ale-tamainaren banaketa uniformearekin, fidagarritasun handiko MEMS aplikazioetarako aproposa.

 ●XRD karakterizazioa: X Izpien Difrakzioaren (XRD) ereduek perovskita fase hutsaren eraketa berresten dute (100) orientazio hobetsi batekin, errendimendu piezoelektriko maximoen koefizienteak bermatuz.

3. Zehaztapen Teknikoak (Ezaugarriak)

4. Oinarrizko Aplikazioak

 ● Transduktore ultrasoinu piezoelektriko mikromekanizatuak (pMUT): Maiztasun handiko matrize miniaturizatuak hatz-marken sentsoreetarako, keinuak ezagutzeko eta automobilgintzako ultrasoinu radaretarako.

 ● Komunikazioa: FBAR edo SAW iragazkiak 5G/6G-n fabrikatzeko gakoa, banda-zabalera handiagoa eta txertatze-galera txikiagoa lortzeko.

 ● MEMS akustikoak: MEMS bozgorailuentzako erantzun iragankor indartsua eskaintzen du eta MEMS mikrofonoetarako Seinale-Zarataren erlazioa (SNR) hobetzen du.

 ● Doitasuneko Fluidoen Kontrola: Abiadura handiko bibrazioa d31 moduaren bidez, nanolitro eskalan tintazko inprimaketa buruetako tanta bolumenaren kontrol zehatza lortzeko.

 ● Medikuntza eta edertasuna (mikroponpaketa): Nebulizatzaile medikoak edo ultrasoinu ponpa kosmetikoak gidatzen ditu fidagarritasun handiko eta tamaina trinkoarekin.

5. Pertsonalizazio Zerbitzuak

Si obleetan jalkitze estandarraz gain, deposizio pertsonalizatuko zerbitzuak ere eskaintzen ditugu:

 ●Filma eta lodiera pertsonalizatzea: Film mota espezifikoak eta lodiera pertsonalizatuak diseinu-baldintzen arabera.

 ●OEM Galdaketa: Bezeroek hornitutako obleak onartzea kalitate handiko film mehe piezoelektrikorako hazkuntzarako.

 ●SOI Substratu euskarria: SOI obleetan deposizio espezializatua, zehaztapen hauekin: