TAC estalitako wafer suszeptorea

Vetek erdieroalearen TAC estalitako wafer suscoldor gako osagaia daMetal-organikoko lurruneko gordailua (MOCVD)ErreaktoreakErdieroalearen epitaxial (EPI) prozesuak. Oinarri biribil espezializatu hau kalitate handiko grafitoarekin eginda dago eta Tantalum Carbide (TAC) geruza batekin estalita dago, hau da, aparteko propietate termiko eta kimikoengatik ezaguna da.

TAC estalduraren funtzio nagusia Wafer Suscondus-en errendimendua eta iraunkortasuna hobetzea da, erdieroaleen fabrikazio baldintza gogorren azpian. Tantalum Carbide ospetsua da bere gogortasun, urtzeko puntu eta higadura erresistentzia nabarmenagatik, babes geruza aproposa bihurtuz. Estaldura honek azpiko grafitoaren oinarria erakusten du erreakzio kimiko korrosiboetatik eta barruan gertatzen diren estres mekanikoetatikMOCVD erreaktoreak, ekipoaren bizimodua luzatuz eta fidagarritasuna hobetuz.

Material erdieroaleen hazkunde epitaxialean, TAC estalitako wafer suscert-ek funtsezko eginkizuna du filmaren gordailu zehatza bermatuz. Tenperatura altuak eta ingurune kimiko gogorrekiko erresistentzia kritikoa da gailu erdieroaleen ekoizpen zehatza lortzeko, ekipoak prozesu baldintza zorrotzetan funtziona dezan.

A-ren konbinazioagrafito nukleoaetaTAC estalduraBero-banaketa uniformea ​​susmatzen du, ezinbestekoa da MOCVD prozesuan hazitako geruza erdieroaleen errepikapen eta kalitatea hobetzeko. Materialaren diseinu aurreratu honek iraunkortasuna ez ezik, errendimendu handiko osagai elektronikoetarako erdieroaleen fabrikazio modernoaren eskakizun zorrotzak ere betetzen ditu.

TAC estalitako mahujaleen hornitzaile eta fabrikatzaile gisa, Vetek erdieroalearen konpromisoa hartu du erdieroaleen industriarako kalitate handiko irtenbide teknikoak emateko. Espero dugu zure epe luzerako bazkide fidagarria bihurtzea Txinan, produktu fidagarriak eta pertsonalizatuak eskainiz.

Vetek erdieroaleak TAC estalitako wafer suszeptore dendak: