Zer da Chuck elektrostatikoa (ESC)?

Chuck elektrostatikoa (ESC), Chuck elektrostatikoa (ESC, E-Chuck) bezala ere ezaguna da, adsorzio elektrostatikoaren printzipioa erabiltzen duen eta adsorbatutako materiala konpontzeko eta konpontzeko. Hutsean eta plasma inguruneetarako egokia da. Bere funtzio nagusia ultra-ultra-Orria meheak (silikonazko ogiak adibidez) eta mantendu adsorbatutako materiala lautada onean, eta horrek ere prozesuan zehar adsorbatutako materialaren deformazioa inhibitu dezake eta adsorbataren tenperatura doitu dezake.

Chuck elektrostatikoa (ESC) kaka mota berezi bat da, indar elektrostatikoa gordetzeko, sakatu eta jasotzeko objektuak (piezak) jasotzeko. Edozein materialek begi hutsez ikusezinak diren karga positiboak eta negatiboak ditu. Materiala ESC-en kokatzen denean eta tentsio bipolarra aplikatzen denean ESCren barne-elektrodoei, karga positiboak eta negatiboak mugituko dira ESCren barne elektrodoen polaritatearekin bat egiteko materialaren barruan. Esc eta materialaren arteko erakarpen hori indar elektrostatikoa deritzo eta gure chucks atzean oinarrizko printzipioa da.

Produktuen abantailak

Eragiketa tenperatura zabala du (-50 eta 700 ℃)

Xurgapen elektrostatikoko edalontzi hauek indar bikaina, erkidego termikoa eta shock termikoarekiko erresistentzia dute eta NGKren jabedun zeramikazko erresistentziaren kontrolaren bidez tenperatura zabalera zabalera egokitu daiteke.

Korrosio handiko erresistentzia

Xurgapen elektrostatiko hauek korrosioarekiko erresistentzia bikaina dute halogeno gasarekiko.

Partikula baxuko prozesamendua

Partikula baxuko tratamendua gainazaleko tratamenduaren eta garbiketa bereziaren bidez lor daiteke

Garbiketa altua

% 99,9 edo handiagoa duten garbitasuna duten produktuak ere eskuragarri daude.

Berokuntza funtzioa

Zehaztasun handiko berogailu elementuen barneko teknologia berogailuaren funtzioarekin integratu daiteke, eta ogitarteko tenperatura% 1 barruan kontrolatu daiteke.

Hozteko funtzioa

Xurgapen-edalontzi elektrostatiko hauek oso hozte-errendimendua dute zeramikazko plakak eroankortasun termiko altuarekin eta hozte-plakarekin.

Irrati maiztasun elektrodoa

Bulk metalezko elektrodoek aldi berean ubide egonkorra eta irrati maiztasuneko plasma sortzea ahalbidetu dezakete.

Paraumetro

1.Erdieroaleen eta fabrikazio elektronikoaren arloan: Seminkortasuneko eta fabrikazio elektronikoko prozesuetan, silikono-ogiak, ogiak eta abar mehe eta hauskorrak konpontzeko eta kudeatzeko erabiltzen dira.

2.. Beira eta zeramika industria: beira eta zeramikak mozteko, ehotzeko eta manipulatzeko prozesuetan, xurgapen elektrostatikoko edalontziak material hauskorrak ez diren eragiketak egin ditzakete material hauskorrean.

3. Zehaztasun makineria eta osagai optikoak fabrikatzea: zehaztasun makineria eta osagai optikoetarako, xurgapen elektrostatikoko edalontziak adsorzio indar egonkorra eman dezake, deformazioa edo marradurak prozesatzeko garaian.

4. Ekoizpen-lerro automatizatuak: Ekoizpen-lerro automatizatuetan, xurgagailu elektrostatikoko edalontziak oso erabiliak dira piezak kokatzen, manipulatu, manipulatu eta muntatu, ekoizpen-lerroaren automatizazio eta eraginkortasun maila hobetuz.