Silizio Karburo Zeramika

VeTek Semiconductor zure bazkide berritzailea da erdieroaleen prozesamenduaren arloan. Erdieroale-mailako Silizio Karburo Zeramikazko materialen konbinazioen, osagaien fabrikazio-gaitasunen eta aplikazioen ingeniaritza-zerbitzuen zorro zabalarekin, erronka garrantzitsuak gainditzen lagunduko dizugu. Ingeniaritza teknikoa Silizio-karburoaren zeramika erdieroaleen industrian oso aplikatzen da materialaren errendimendu aparta dela eta. VeTek Semiconductor-en Silizio Karburo Zeramika ultrapurua maiz erabiltzen da erdieroaleen fabrikazio eta prozesatzeko ziklo osoan.

HEDAPENA ETA LPCVD PROZESATZEA

VeTek Semiconductor-ek loteen difusiorako eta LPCVD eskakizunetarako bereziki diseinatutako zeramikazko osagaiak eskaintzen ditu, besteak beste:

• Baffles eta euskarria
• Injektoreak
• Atorrak eta prozesu-hodiak
• Siliziozko karburoko palanak
• Ostia-ontziak eta idulkiak

SiC Cantilever Pala SiC Prozesuen Hodiak Silizio Karburoaren Prozesatzeko Hodia SiC ostia bertikala SiC ostia horizontala SiC horizontalak quare ostia ontzia SiC LPCVD ostia-ontzia SiC plaka horizontaleko itsasontzia SiC zeramikazko zigilu eraztuna

ETCH PROZESUAREN OSAGAIAK

Minimizatu kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak plasma bidezko grabaketa prozesatzeko zorroztasunerako diseinatutako purutasun handiko osagaiekin, besteak beste:

PROZESATZE TERMIKO AZKARRA ETA PROZESU EPITAXIALAREN OSAGAIAK

VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industrian tenperatura altuko prozesatze termikoko aplikazioetarako egokitutako material aurreratuak eskaintzen ditu. Aplikazio hauek RTP, Epi prozesuak, difusioa, oxidazioa eta annealing biltzen dituzte. Gure zeramika teknikoak kolpe termikoak jasateko diseinatuta daude, errendimendu fidagarria eta koherentea eskainiz. VeTek Semiconductor-en osagaiekin, erdieroaleen fabrikatzaileek prozesaketa termiko eraginkorra eta kalitate handikoa lor dezakete, erdieroaleen ekoizpenaren arrakasta orokorrari lagunduz.