Silizio karburo sic wafer boat

Vetekemicericon SIC Wafer itsasontzia tenperatura handiko prozesu erdieroaleentzako bereziki diseinatutako core garraiolaria da. Garbitasun handiko grafitoa isolamendua erabiltzea substratu gisa erabilita, produktu honek lurrunaren gordailu kimikoko gordailuaren teknologia patentatzen du gainazalean siliziozko karburo babesgarria eta ez.

Geruza honek grafitoaren eroankortasun termiko bikaina konbinatzen du silizio karburoaren korrosioaren erresistentziarekin. Estaldura zorrotzak 80-120μm-ko lodiera lortzen du, atmosfera azido eta alkalinoen aurkako korrosioari aurre egiteko, metalezko kutsaduraren arriskua nabarmen murriztuz. Egiturazko egonkortasuna eta dimentsioaren osotasuna mantentzen ditu tenperatura handiko inguruneetan, oxidazio, difusio eta hazkunde epitaxialaren ondorioz, oxidazio, difusio eta hazkunde epitaxialaren gaineko objektuen babes eta laguntza fidagarria eskainiz.

Ⅰ Parametro teknikoak

Ⅱ VetekemicIn SIC Wafer Boat Core Abantailak

• Korrosioarekiko erresistentzia bikaina

VetekemicIn Wafer itsasontzian dagoen SIC estaldura tenperatura handiko CVD prozesu jabedunarekin metatzen da, eta ondorioz, poro eta pitzadurak erabat doako egitura trinkoa eta uniformea ​​sortzen da. Oztopo sendo honek labe inguruneko ogiak modu eraginkorrean isolatzen ditu. Giro oxidatzaile sendoak, konposatu fluoratuak eta bestelako gas korrosiboak babes-geruza horretakoak dira. Horrek esan nahi du zure ogiak kutsaduraz babestuta daudela, eta itsasontzia bera muturreko prozesu errepikatuen bidez bere horretan mantentzen da, bere zerbitzuaren bizitza nabarmen hedatuz.

• Garbitasun ultra-altuak

Ulertzen dugu kutsadurarik txikienak ez duela alferrikako wafers sorta oso bat eman dezakeela. Hori dela eta, Vetekemicon-ek zorroztasunez kontrolatzen du lehengaiak, inportatutako isostatikoki sakatuta grafitoa erabiliz substratu gisa% 99,9995 gainditzen duten garbitasunarekin. Substratu honetan metatutako SIC estaldurak% 99,999 garbitasuna ere lortzen du, sodio, potasioa, burdina eta metal astunak bezalako ezpurutasun kritikoekin maila oso baxuak (PPB). Berezko garbitasun hurbil honek ez du kutsatzaileek tenperatura altuetan askatzen, funtsean, garraiolariak degradatzeko arriskua ezabatzen du garraiolariarekin lotutako gaiak direla eta.

• Egonkortasun termiko bikaina

Erdieroaleen fabrikazioak prozesu termiko oso koherenteak behar ditu. VetekemicIn Wafer Boat-ek hedapen termikoaren koefizientea zorrotz diseinatuta dago silizioko ogienekin lotzeko. Berokuntza azkar eta hozte azkarrean, itsasontzia eta wafer sinkronizazioan mugitzen dira, estres termikoek eragindako akatsak eta deformazio arriskua nabarmen murriztuz. Eragiketa tenperatura jarraian jasan dezake 1600 º arte, indar mekaniko bikaina eta dimentsio egonkortasuna mantenduz tenperatura altu hauetan ere. Horrek errepikapenak eta fidagarritasuna bermatzen ditu prozesu guztietan, Chip fabrikazioan tolerantzia kontrolatzeko oinarri sendoa eskainiz.

• Indar mekaniko iraunkorra

Gure produktuen balioa hasierako inbertsioan ez ezik, epe luzerako jabetza kostuan dago. Kuartzo tradizionalaren edo grafito osagaiekin alderatuta, Vetekemiceric SIC Wafer itsasontziek aparteko higadura eta inpaktuarekiko erresistentzia eskaintzen dute. Haien gainazaleko gogortasun handiak urratzen eta hondakinak mantentzen ditu manipulatu eta garbitzean. Gogortasun horrek tenperatura altuko 200 prozesuko ziklo eta beharrezko garbiketa prozedurak jasan ditzake, kontratazio kostuak, inbentarioko kostuak eta ekipoen ordezkoak lotzen dituztenak nabarmen murrizteko.

• Kate Ekologikoa egiaztatzeko abala

Vetekemicicery SIC Wafer Boat 'kate ekologikoaren egiaztapena ekoizpenerako lehengaiak estaltzen ditu, nazioarteko ziurtagiri estandarra gainditu du eta patentatutako teknologia ugari ditu erdieroale eta energia-eremu berrietan fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Ⅲ Aplikazio-eremu nagusiak

Zehaztapen tekniko zehatzak, paper zuriak edo laginak probatzeko moldaketak egiteko, jarri harremanetan gure laguntza teknikoko taldearekin, Vetekemicic-ek zure prozesuaren eraginkortasuna nola hobetu dezakeen arakatzeko.

Vetekemicon produktuen biltegia