Silizio-karburoaren epitaxia

Kalitate handiko silizio-karburoaren epitaxia prestatzea teknologia aurreratuen eta ekipoen eta ekipoen osagarrien araberakoa da. Gaur egun, gehien erabiltzen den silizio-karburoaren epitaxia hazteko metodoa lurrun-deposizio kimikoa (CVD) da. Film epitaxialaren lodiera eta dopin-kontzentrazioa kontrolatzeko abantailak ditu, akats gutxiago, hazkunde-tasa moderatua, prozesuen kontrol automatikoa, etab., eta merkatuan arrakastaz aplikatu den teknologia fidagarria da.

Silizio karburoa CVD epitaxiak, oro har, horma beroa edo horma epela CVD ekipamendua hartzen du, eta horrek 4H SiC kristalinoaren epitaxia geruzaren jarraipena bermatzen du hazkunde-tenperatura altuko baldintzetan (1500 ~ 1700 ℃), horma beroa edo horma epela CVD garapen urteen ondoren, garapenaren arabera. Sarrerako aire-fluxuaren norabidearen eta substratuaren gainazalaren arteko erlazioa, Erreakzio-ganbera egitura horizontaleko erreaktore eta egitura bertikaleko erreaktoreetan bana daiteke.

SIC labe epitaxialaren kalitatearen hiru adierazle nagusi daude, lehenengoa hazkunde epitaxialaren errendimendua da, lodieraren uniformetasuna, dopinaren uniformetasuna, akats-tasa eta hazkunde-tasa barne; Bigarrena ekipamenduaren beraren tenperaturaren errendimendua da, berokuntza/hozte tasa, tenperatura maximoa, tenperatura uniformetasuna barne; Azkenik, ekipoaren kostu-errendimendua bera, unitate bakar baten prezioa eta edukiera barne.

Hiru silizio-karburo epitaxial-hazkuntza-labe mota eta nukleo osagarrien desberdintasunak

Horma beroko CVD horizontala (LPE konpainiaren PE1O6 eredu tipikoa), horma beroko CVD planetarioa (Aixtron G5WWC/G10 eredu tipikoa) eta horma ia beroa CVD (Nuflare konpainiako EPIREVOS6 ordezkatua) ekipamendu epitaxialen soluzio tekniko nagusiak dira. fase honetan aplikazio komertzialetan. Hiru gailu teknikoek ere ezaugarri propioak dituzte eta eskariaren arabera hauta daitezke. Haien egitura honela erakusten da:

Hauek dira dagozkien oinarrizko osagaiak:

(a) Horma beroa horizontal motako nukleoaren zatia- Halfmoon Parts-ek osatzen dute

Beheko isolamendua

Goiko isolatzaile nagusia

Goiko ilargi erdia

Ura gorako isolamendua

Trantsizio pieza 2

Trantsizio pieza 1

Kanpoko aire pita

Tapered snorkel

Kanpoko argon gasaren pita

Argon gasaren pita

Ostia euskarri plaka

Zentratzeko pina

Guardia zentrala

Uran behera ezkerreko babes-estalkia

Behean eskuineko babes-estalkia

Uran gora ezkerreko babes-estalkia

Gora eskuineko babes-estalkia

Alboko horma

Grafitozko eraztuna

Feltro babeslea

Euskarri sentitua

Harremanetarako blokeoa

Gasaren irteerako bonbona

(b)Horma epel motako planetarioa

SiC estaldura Planetary Disk eta TaC estaldura Planetary Disk

(c) Horma ia-termikoa zutik

Nuflare (Japonia): Enpresa honek ganbera bikoitzeko labe bertikalak eskaintzen ditu, produkzio-errendimendua handitzen laguntzen dutenak. Ekipamenduak 1000 bira minutuko abiadura handiko biraketa du, eta hori oso onuragarria da uniformetasun epitaxialerako. Gainera, bere aire-fluxuaren norabidea beste ekipoekiko desberdina da, bertikalki beherantz izaki, eta horrela partikulen sorrera minimizatzen da eta partikula-tantak obleetara erortzeko probabilitatea murrizten du. Ekipo honetarako SiC estalitako grafitoaren osagai nagusiak eskaintzen ditugu.

SiC epitaxial ekipamenduen osagaien hornitzaile gisa, VeTek Semiconductor-ek bezeroei kalitate handiko estaldura-osagaiak eskaintzeko konpromisoa hartzen du SiC epitaxiaren ezarpen arrakastatsuan laguntzeko.