Sic estalitako ogitartekoa

Txirbilaren fabrikazioa obleetatik bereizezina da. Obleak prestatzeko prozesuan, bi lotura nagusi daude: bata substratua prestatzea da eta bestea prozesu epitaxiala ezartzea. Substratua zuzenean obleak fabrikatzeko prozesuan jar daiteke gailu erdieroaleak ekoizteko, edo gehiago hobetu.prozesu epitaxiala. 

Epitaxia kristal bakarreko geruza berria haztea da, finek prozesatu den (ebaketa, artezketa, leuntzea, etab.). Negoziatutako kristal geruza berria substratuaren kristal fasearen arabera zabalduko delako, geruza epitaxial deritzo. Geruza epitaxiala substratuaren gainean hazten denean, osotasuna wafer epituxial deritzo. Epituxial teknologiak sartzeak substratu bakarreko akats ugari konpontzen ditu.

Hazkunde epituxial labeetan, substratua ezin da ausaz jarri eta aostia eramaileabeharrezkoa da substratua ogitaran kokatzeko epitaxial gordailua substratuan egin aurretik. Wafer titular hau SIC estalitako ogitartekoa da.

EPI erreaktorearen zeharkako ikuspegia

Kalitate handikoSiC estalduraCVD teknologia erabiliz SGL grafitoaren azalera aplikatzen da:

SiC estalduraren laguntzaz, propietate askoSic estalitako wafer titularranabarmen hobetu dira:

● Propietate antioxidatzaileak: SIC estaldurak oxidazio erresistentzia ona du eta grafitoaren matrizea oxidaziotik babestu dezake tenperatura altuetan eta bere zerbitzuaren bizitza luzatu dezake.

●  Tenperatura handiko erresistentzia: SIC estalduraren urtze-puntua oso altua da (2700 ºC inguru). Sic estaldura grafito matrizeari gehitu ondoren, tenperatura altuagoak jasan ditzake, hau da, hazkunde epituxial labeen ingurunean aplikatzeko onuragarria da.

●  Corrosioarekiko erresistentzia: Grafitoa ingurune azido edo alkalino jakin batzuetan korrosio kimikora joateko joera da.

●  Higaduraren erresistentzia: SIC materialak gogortasun handia du. Grafitoa SICekin estalita egon ondoren, ez da erraz kaltetzen hazkunde epituxial labean erabiltzen denean, material higaduraren tasa murriztuz.

Vetek erdieroaleak material onenak eta prozesatzeko teknologia aurreratuenak erabiltzen ditu bezeroei industriako estaldurako operadoreen garagailuzko produktuak eskaintzen dituzten bezeroei. Vetek erdieroalearen talde tekniko sendoa beti da konpromisoa produktu egokienak eta bezeroentzako sistemaren irtenbide onenak egokitzeko.

CVD SIC filmaren datuak

VeTek SemiconductorSiC estalitako obleen dendak