Siliziozko idulkia

VeTek Semiconductor siliziozko susceptor siliziozko produktu hutsa da erreaktore termikoko hodiaren egonkortasuna bermatzeko diseinatuta siliziozko obleak prozesatzen diren bitartean, horrela isolamendu termikoaren eraginkortasuna hobetzeko. Siliziozko obleen prozesatzea oso prozesu zehatza da, eta tenperaturak berebiziko garrantzia du, siliziozko obleen filmaren lodiera eta uniformitateari zuzenean eragiten diona.

Siliziozko pedestala labeko erreaktore termikoko hodiaren beheko aldean dago, silizioari laguntzekowafer eramaileIsolamendu termiko eraginkorra eskaintzen duen bitartean. Prozesuaren amaieran, pixkanaka giro-tenperaturara hozten da siliziozko ogitarteko garraiatzailearekin batera.

Vemen erdieroaleen silikonazko pedestalen oinarrizko funtzioak eta onurak:

Laguntza egonkorra eskaintzea prozesuaren zehaztasuna bermatzeko

Siliziozko idulkiak tenperatura altuko labearen ganbaran siliziozko itsasontzirako euskarri-plataforma egonkorra eta oso erresistentea eskaintzen du. Egonkortasun honek siliziozko itsasontzia prozesatzeko garaian mugitzea edo okertzea eragotzi dezake, eta, horrela, aire-fluxuaren uniformetasunari eragin edo tenperatura-banaketa suntsitzea saihestuz, prozesuaren zehaztasun eta koherentzia handia bermatuz.

Tenperatura uniformetasuna hobetu labean eta hobetu wafer kalitatea

Silicon itsasontzia labeko beheko edo hormarekin kontaktu zuzenetik isolatuz, silizio baseak eroankortasunaren ondorioz sortutako bero-galera murriztu dezake, eta horrela, tenperatura banaketa uniformeagoa lortu da erreakzio termikoan. Ingurune termiko uniforme hau ezinbestekoa da wafer difusioaren eta oxidoaren geruzaren uniformetasuna lortzeko, gehiegizko kalitatea hobetuz.

Optimizatu isolamendu termikoaren errendimendua eta energia kontsumoa murriztea

Silicon Base Materialaren isolamendu termikoaren propietate bikainak labe ganbaran bero galera murrizten laguntzen du, eta, horrela, prozesuaren energia-eraginkortasuna nabarmen hobetzen da. Kudeaketa termikoko mekanismo eraginkor honek berogailuaren eta hoztearen zikloa ez ezik, energia kontsumoa eta funtzionamendu kostuak murrizten ditu, eta konponbide ekonomikoagoa eskaintzen du fabrikazio erdieroaleentzat.

VeTek Semiconductor Siliziozko idulkiaren zehaztapenak

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal ekoizpen dendak