Produktuak

Oxidazio eta difusio labeak

Oxidazio eta difusio labeak hainbat alorretan erabiltzen dira, esaterako, gailu erdieroaleak, gailu diskretuak, gailu opteroelektronikoak, gailu elektronikoak, eguzki zelulak eta eskala handiko zirkuitu integratuaren fabrikazio integratua. Zabalkuntzak, oxidazioa, gorroto, aleazio eta ogiak sintetzeko prozesuetarako erabiltzen dira.


Vetek erdieroalea garbitasun handiko grafitoa, silizio karburoa eta kuartzoko osagaiak oxidazio eta difusio labeen ekoizpenean espezializatutako fabrikatzaile garrantzitsu bat da. Kalitate handiko labeen osagaiak eta industria fotovoltaikoentzako kalitate handiko labe osagaiak eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta gainazaleko estalduraren teknologiaren abangoardian daude, hala nola CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, etab.


Vemen erdieroale silizio karburoen osagaien abantailak:

● Tenperatura altuko erresistentzia (1600 ℃ arte)

● Erosketa termiko bikaina eta egonkortasun termikoa

● Korrosio kimikoko erresistentzia ona

● Hedapen termikoaren koefiziente txikia

● Indar eta gogortasun handia

● Zerbitzu luzeko bizitza


Oxidazioan eta hedapen labeetan, tenperatura altuko eta gas korrosiboen presentzia dela eta, osagai askok tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentziak erabiltzea eskatzen dute, eta horien artean silizio karburoa (SIC) da. Honako hauek dira oxidazio labeetan eta difusio labeetan aurkitutako silizio karburo osagaiak:



● Wafer Boat

Silikonazko karburoen txalupa silikonazko ogiak eramateko erabilitako edukiontzia da, tenperatura altuak jasan ditzakeela eta ez du silikono-ogienekin erreakzionatuko.


● Labe hodia

Labearen hodia difusio labearen oinarrizko osagaia da, silikonazko ogiak hartzeko eta erreakzio ingurunea kontrolatzeko erabiltzen dena. Silizio karburo labeetako hodiek tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentzia errendimendu bikaina dute.


● Baffle plaka

Labearen barruan aire-fluxua eta tenperatura banatzea arautzeko erabiltzen da


● Babes termokopia hodia

Tenperatura neurtzeko tenperatura neurtzen dutenak gas korrosiboekin.


● Cantilever Padel

Silikonazko karburo kantilariak tenperatura eta korrosio altuarekiko erresistenteak dira eta silikonazko itsasontziak edo kuartzozko itsasontziak garraiatzeko erabiltzen dira silikonazko ogiak difusio labe hodietan eramaten.


● Gas injektorea

Erreakzio-gasa labean sartzeko erabiltzen da, tenperatura altua eta korrosioa erresistentea izan behar du.


● Itsasontzi eramaile

Silikonazko karburoen txalupa eramaile silikonazko ogiak konpontzeko eta laguntzeko erabiltzen da, indar handia, korrosioarekiko erresistentzia eta egiturazko egonkortasun ona dituzten abantailak dituztenak.


● Labearen atea

Silizio karburo estaldurak edo osagaiak ere erabil daitezke labeko atearen barrutik.


● Berokuntza elementua

Silizio karburo berogailu elementuak tenperatura altuetarako egokiak dira, potentzia altua eta azkar tenperaturak 1000 ℃ baino gehiago igo ditzakete.


● Sic forrua

Labeko hodien barruko horma babesteko erabiltzen da, bero energia galtzea eta tenperatura altua eta presio handia bezalako ingurune gogorrak jasaten lagun dezake.

View as  
 
Siliziozko Karburo Zeramikazko Wafer Boat

Siliziozko Karburo Zeramikazko Wafer Boat

Vetek erdieroalea kalitate handiko ogien itsasontziak, oinezkoak eta ohitura-operadoreak eskaintzen espezializatuta dago, zutabe / zutabe / zutabe eta konfigurazio horizontalak, erdieroaleen prozesuaren eskakizunak betetzeko. Silikonazko karburo estalduraren fabrikatzaile eta hornitzaile garrantzitsu gisa, gure silizio karburo zeramikazko txalupak Europako eta Amerikako merkatuen alde egiten du kostu-eraginkortasun eta kalitate bikainagatik, eta oso erabiliak dira erdieroaleen fabrikazio prozesu aurreratuetan. Vetek erdieroaleak konpromisoa hartu du epe luzerako eta egonkorreko harreman kooperatibo egonkorrak bezero globalekin finkatzeko, eta batez ere Txinan zure erdieroale prozesuaren bazkide fidagarria bihurtzea espero du.
Silizio karburoa (sic) cantilever padel

Silizio karburoa (sic) cantilever padel

Silicon Carbide (SIC) Cantilever Padelen rola erdieroaleen industrian, ogiak babestea eta garraiatzea da. Tenperatura altuko prozesuetan, hala nola, difusioa eta oxidazioa, SIC Cantilever padelak egonkorreko itsasontziak eta ogiak eraman ditzake tenperatura altuagatik deformazio edo kalteik gabe, prozesuaren aurrerapen leuna bermatuz. Difusioa, oxidazioa eta bestelako prozesuak uniforme gehiago egitea funtsezkoa da waffer prozesatzeko koherentzia eta errendimendua hobetzeko. Vetek erdieroaleak teknologia aurreratuak erabiltzen ditu SIC Cantilever Paddle eraikitzeko, Silicon Carbide garbitasun handiko silizioarekin, ogiak ez direla kutsatuko ziurtatzeko. Vetek erdieroaleak epe luzerako lankidetza espero du zurekin silizio karburo (sic) cantilever padeleko produktuetan.
Kuartzozko arragoa

Kuartzozko arragoa

VeTek Semiconductor Txinan kuartzozko arragoa hornitzaile eta fabrikatzaile nagusia da. ekoizten ditugun kuartzozko arragoa erdieroaleetan eta eremu fotovoltaikoetan erabiltzen da batez ere. Garbitasun eta tenperatura altuen erresistentzia propietateak dituzte. Eta erdieroaleetarako gure kuartzozko arragoa siliziozko hagaxkak tiratzeko, kargatzeko eta deskargatzeko polisiliziozko lehengaien ekoizpen prozesuak onartzen ditu erdieroaleen siliziozko obleak ekoizteko prozesuan, eta siliziozko obleak ekoizteko funtsezko kontsumigarriak dira. VeTek Semiconductor-ek zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero du Txinan.
Silizio karburoen omendari garraiolaria

Silizio karburoen omendari garraiolaria

Txinan Silizio Karburoko obleen hornitzaile profesional gisa, VeTek Semiconductor SiC obleen eramailea erdieroaleen obleak manipulatzeko eta prozesatzeko bereziki erabiltzen den tresna da, erdieroaleen obleen prozesuan paper ordezkaezina betetzen duena. Ongi etorri zure kontsultara.
Siliziozko idulkia

Siliziozko idulkia

Vetek erdieroale silizioaren putzuak funtsezko osagaia da erdieroaleen difusio eta oxidazio prozesuetan. Silikonazko itsasontziak tenperatura handiko labeetan eramateko plataforma dedikatu gisa, siliziozko pedestalak abantaila paregabe ugari ditu, besteak beste, tenperatura uniforme hobetzea, aprobetxatutako kalitatearen kalitatea eta gailu erdieroaleen errendimendua hobetzea. Produktuen informazio gehiago lortzeko, jar zaitez gurekin harremanetan.
Sic zeramikazko zigilu eraztuna

Sic zeramikazko zigilu eraztuna

Txinan eskala handiko fabrikaren fabrikaren eta hornitzaile gisa, Vetek erdieroaleak SIC zeramikazko zigiluen eraztunen hornitzaile gisa, industria-eremuan aplikazio ugari ditu eroankortasun termiko bikaina, kimiko eta korrosioarekiko erresistentzia eta indar eta zurruntasun handia. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Txinan Oxidazio eta difusio labeak fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Oxidazio eta difusio labeak aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept