Oxidazio eta difusio labeak

Oxidazio eta difusio labeak hainbat alorretan erabiltzen dira, esaterako, gailu erdieroaleak, gailu diskretuak, gailu opteroelektronikoak, gailu elektronikoak, eguzki zelulak eta eskala handiko zirkuitu integratuaren fabrikazio integratua. Zabalkuntzak, oxidazioa, gorroto, aleazio eta ogiak sintetzeko prozesuetarako erabiltzen dira.

Vetek erdieroalea garbitasun handiko grafitoa, silizio karburoa eta kuartzoko osagaiak oxidazio eta difusio labeen ekoizpenean espezializatutako fabrikatzaile garrantzitsu bat da. Kalitate handiko labeen osagaiak eta industria fotovoltaikoentzako kalitate handiko labe osagaiak eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta gainazaleko estalduraren teknologiaren abangoardian daude, hala nola CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, etab.

Vemen erdieroale silizio karburoen osagaien abantailak:

● Tenperatura altuko erresistentzia (1600 ℃ arte)

● Erosketa termiko bikaina eta egonkortasun termikoa

● Korrosio kimikoko erresistentzia ona

● Hedapen termikoaren koefiziente txikia

● Indar eta gogortasun handia

● Zerbitzu luzeko bizitza

Oxidazioan eta hedapen labeetan, tenperatura altuko eta gas korrosiboen presentzia dela eta, osagai askok tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentziak erabiltzea eskatzen dute, eta horien artean silizio karburoa (SIC) da. Honako hauek dira oxidazio labeetan eta difusio labeetan aurkitutako silizio karburo osagaiak:

● Wafer Boat

Silikonazko karburoen txalupa silikonazko ogiak eramateko erabilitako edukiontzia da, tenperatura altuak jasan ditzakeela eta ez du silikono-ogienekin erreakzionatuko.

● Labe hodia

Labearen hodia difusio labearen oinarrizko osagaia da, silikonazko ogiak hartzeko eta erreakzio ingurunea kontrolatzeko erabiltzen dena. Silizio karburo labeetako hodiek tenperatura handiko eta korrosioarekiko erresistentzia errendimendu bikaina dute.

● Baffle plaka

Labearen barruan aire-fluxua eta tenperatura banatzea arautzeko erabiltzen da

● Babes termokopia hodia

Tenperatura neurtzeko tenperatura neurtzen dutenak gas korrosiboekin.

● Cantilever Padel

Silikonazko karburo kantilariak tenperatura eta korrosio altuarekiko erresistenteak dira eta silikonazko itsasontziak edo kuartzozko itsasontziak garraiatzeko erabiltzen dira silikonazko ogiak difusio labe hodietan eramaten.

● Gas injektorea

Erreakzio-gasa labean sartzeko erabiltzen da, tenperatura altua eta korrosioa erresistentea izan behar du.

● Itsasontzi eramaile

Silikonazko karburoen txalupa eramaile silikonazko ogiak konpontzeko eta laguntzeko erabiltzen da, indar handia, korrosioarekiko erresistentzia eta egiturazko egonkortasun ona dituzten abantailak dituztenak.

● Labearen atea

Silizio karburo estaldurak edo osagaiak ere erabil daitezke labeko atearen barrutik.

● Berokuntza elementua

Silizio karburo berogailu elementuak tenperatura altuetarako egokiak dira, potentzia altua eta azkar tenperaturak 1000 ℃ baino gehiago igo ditzakete.

● Sic forrua

Labeko hodien barruko horma babesteko erabiltzen da, bero energia galtzea eta tenperatura altua eta presio handia bezalako ingurune gogorrak jasaten lagun dezake.

View as

Silikonazko karburo hutsa ogitartekoa

Vetek erdieroalea Silikonazko karburo puru purua Garraiolariak semiconductor prozesatzeko osagai garrantzitsuak dira, silikono-ogiak delikatuak modu seguruan mantentzeko eta garraiatzeko. Fabrikazioaren fase guztietan funtsezko eginkizuna da. Vetek erdieroalearen silikonazko karburo hutsaren ogitartekoa zaindu eta fabrikatzen dira errendimendu eta fidagarritasun bikaina bermatzeko. Vetek erdieroaleak kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du eta espero dugu zure epe luzerako bazkidea izatea China.feel doan.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Silizio karburoen txalupa

Vetek erdieroalearen purutasun handiko silizio karburoa wafer itsasontzia silikonazko karburo oso purua da, egonkortasun termiko bikaina, indar mekanikoa eta erresistentzia kimikoa. Purutasun handiko silizio karburoen txalupa erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen da, batez ere tenperatura handiko inguruneetan, eta eginkizun garrantzitsua du ogiak babesteko, materialak garraiatzeko eta prozesu egonkorrak mantentzeko. Vetek erdieroaleek gogor lan egiten jarraituko dute, Silicon Carbide Wafer itsasontzien errendimendua berritzeko eta hobetzeko. Espero dugu zure epe luzeko bikotea Txinan.feel doan biltzea.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Txinan Oxidazio eta difusio labeak fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Oxidazio eta difusio labeak aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra
+86-18069220752
Faxa
+86-579-87223657
Posta elektronikoa
anny@veteksemi.com
Helbidea
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang probintzia, Txina

Web menua

Produktuen bilaketa

Hizkuntza

Irten menutik

Oxidazio eta difusio labeak

Vemen erdieroale silizio karburoen osagaien abantailak:

Silikonazko karburo hutsa ogitartekoa

Silizio karburoen txalupa

Bidali kontsulta

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra

Faxa

Posta elektronikoa

Helbidea