Silizio solidoaren karburoaren erabilerak

Silicon Carbide Sic SIC SIC silizioaz (SI) eta karbonoz osatutako material zeramikazkoa da. Ez da naturan oso aurkitutako substantzia eta normalean tenperatura handiko sintesia behar da. Propietate fisiko eta kimikoen konbinazio berezia da muturreko inguruneetan ondo funtzionatzen duen funtsezko materiala, batez ere erdieroaleen fabrikazioan.

Ⅰ. Silicon Carbide solidoaren propietate fisikoak (SIC SIC)

▶ Gogortasun eta higadura erresistentzia:

SIC-ek 9-9,5 inguruko gogortasuna du, bigarren diamantea soilik. Honek marradura bikaina ematen du eta higadura erresistentzia ematen du eta estres mekanikoa edo partikulen higadura jasan behar duten inguruneetan ondo egiten du.

▶ Tenperatura handiko indar eta egonkortasun bikaina

1. SICek bere indar mekanikoa eta egiturazko osotasuna mantendu ditzake tenperatura oso altuetan (1600 ºC-ko tenperaturak edo are altuagoak dira, motaren eta garbitasunaren arabera).

2. Hedapen termikoaren koefiziente baxuak dimentsioen egonkortasun ona duela esan nahi du eta tenperatura modu zorrotzean aldatzen denean deformazio edo pitzadurarik ez dela esan nahi du.

▶ Erorketa termiko altua:

Zeramikazko beste material askotan ez bezala, SICk nahiko eroankortasun termiko handia du. Horrek bero modu eraginkorrean egin eta xahutzeko aukera ematen du, eta hori funtsezkoa da tenperatura kontrol zehatza eta uniformetasuna eskatzen duten aplikazioetarako.

Goi mailako inertutasun eta korrosioarekiko erresistentzia handiagoa:

SIC-ek erresistentzia izugarri sendoa du azido sendoenekin, oinarri sendo eta korrosiboak normalean erdieroaleen prozesuetan (fluoroan oinarritutako eta kloruran oinarritutako gasak, esaterako, plasma inguruneetan), tenperatura altuetan ere. Hori funtsezkoa da prozesuko ganberaren osagaiak korrodu edo kutsatuta egotea eragozteko.

▶ Purutasun handiko potentziala:

Oso garbitasun handiko SIC estaldurak edo SIC solidoak fabrikazio prozesu zehatzen bidez sor daitezke (esaterako, lurrun kimikoen gordailua - CVD). Erdieroaleen fabrikazioan, material garbitasunak zuzenean eragiten du obuluaren kutsadura maila eta azken produktuaren etekinak.

▶ Zurtoin altua (gazteen modulua):

Sic-ek gazteen modulua du, eta horrek esan nahi du oso gogorra dela eta ez dela erraza karga azpian deformatzea. Oso garrantzitsua da forma eta tamaina zehatza mantendu behar duten osagaiak (wafer garraiolariak adibidez).

▶ Propietate elektriko sintoniak:

Isolatzaile edo erdieroale gisa erabiltzen den arren (bere kristal-formaren eta dopinaren arabera), bere erresistentzia altuak plasma portaera kudeatzen laguntzen du edo alferrikako arku alta ekiditen du osagai batzuen aplikazio batzuetan.

Ⅱ. Silicon Carbide Solicon Solicon Carbide (SIC SIC) duten abantailak produktu bukatuak erdieroaleen fabrikazioan

Aurreko propietate fisikoetan oinarrituta, SIC solidoa zehaztasun-osagai desberdinetan fabrikatzen da eta oso erabilia da erdieroaleen aurreko prozesuen funtsezko esteketan.

1) SIC WABER GARRANTZAILEA (SIC SIC WABER GARRANTZITSUA / Itsasontzia):

Aplikazioa:

Tenperatura handiko prozesuetan silizioko ogiak eramateko eta transferitzeko erabiltzen da (hala nola, difusioa, oxidazioa, LPCVD - presio baxuko lurrun kimikoen gordailua).

Abantailak aztertzea:

1. Tenperatura egonkortasuna: 1000 ºC-tik gorako prozesu-tenperaturetan, SIC garraiolariak ez dira leundu egingo, deformatu edo sagar bezain erraz kuartzoz eta zehaztasunez mantendu dezakegu uretako tartea prozesuaren uniformetasuna bermatzeko.

2. Bizitza luzea eta partikulen belaunaldi baxua: SICren gogortasuna eta higaduraren erresistentzia kuartzoa gainditzen da, eta ez da erraza partikula txikiak sortzea ogiak kutsatzea. Bere zerbitzuaren bizitza normalean hainbat aldiz edo ia zenbait aldiz izaten da kuartzozko eramaileek, ordezko maiztasuna eta mantentze kostuak murriztuz.

3. Inertasun kimikoa: prozesuko giroan higadura kimikoari aurre egin diezaioke eta bere materialen prezipitazioak eragindako obraren kutsadura murriztu dezake.

4. Erodukzio termikoa: eroankortasun termiko onek eramaile eta ogitartekoen berogailu eta hozte azkarra eta uniformea ​​lortzen laguntzen du, prozesuen eraginkortasuna eta tenperatura uniformetasuna hobetzen laguntzen du.

5. Garbitasun altua: garbitasun handiko SIC eramaileak fabrikatu daitezke nodo aurreratuen eskakizun zorrotzak betetzeko.

Erabiltzailearen balioa:

Prozesuen egonkortasuna hobetzea, produktuaren errendimendua handitu, osagaien porrota edo kutsadura eragindako denbora murriztea eta epe luzera jabetza kostu orokorra murriztea.

2) SIC formako / gas dutxa sendoa:

Aplikazioa:

Ekipamendu-ganberaren gaineko erreakzio ganberaren goialdean instalatuta, hala nola plasma grabaketa, lurrun kimikoen gordailua (CVD), geruza atomikoaren gordailua (ALD), etab. Prozesuen gasak azpiko azalera modu uniformean banatzeko arduraduna.

Abantaila analisia:

1. Plasma tolerantzia: Kimikoki aktibatutako plasma ingurunean, SIC dutxako buruak erresistentzia handia du plasma bonbardaketa eta korrosio kimikoarekiko, kuartzo edo alumina baino askoz ere handiagoa.

2. Uniformetasuna eta egonkortasuna: zehaztasunez mekanizatutako SIC dutxa buruak ziurtatu dezake gas-fluxua modu uniformeki banatzen dela oblio-azalera osoan, eta hori funtsezkoa da zinemaren lodiera, konposizio uniformetasunaren edo grabazio tasa. Epe luzerako egonkortasun ona du eta ez da erraza deformatzea edo estaltzea.

3. Kudeaketa termikoa: eroankortasun termiko onek tenperatura uniformetasuna mantentzen laguntzen du dutxa-buruan, eta horrek kritikoa da, berotzeko sentikorreko gordailu edo grabazio prozesuetarako.

4. Kutsadura baxua: garbitasun handiko eta inertutasun kimikoek dutxaren material propioen kutsadura prozesuan murrizten dute.

Erabiltzailearen balioa:

Prozesuen emaitzen uniformetasuna eta errepikakortasuna nabarmen hobetu, zabaldu dutxa-buruaren zerbitzua, mantentze-denborak eta partikulen arazoak murrizteko eta prozesu baldintza aurreratuagoak eta zorrotzagoak onartzen ditu.

3) SIC grabaketa solidoa fokatze eraztuna (SIC SIC grabaketa fokatze eraztun / ertza):

Aplikazioa:

Batez ere plasma grabatzeko ekipoen ganberan (esaterako, plasma ccp bateratuak, esaterako, plasma kukurutxo bat edo plasma cp cp cp akoplatua), normalean ogitartekoa (Chuck) ertzean kokatzen da. Bere funtzioa plasma mugatzea eta gidatzea da, ordea, gelan beste osagaiak babesten dituena.

Abantaila analisia:

1. Plasmaren higadurarekiko erresistentzia handia: hau da SIC fokatze eraztunaren abantaila nabarmenena. Apuntamendu oso oldarkorretan plasmak (fluoroak edo kloroak dituzten produktu kimikoak adibidez), kuartzoa, alumina edo yttra (yttrium oxidoa) baino askoz ere motelagoa da eta oso bizitza luzea du.

2. Dimentsio kritikoak mantentzea: gogortasun handia eta zurruntasun altua SICek eraztunek beren forma eta tamaina zehatzak hobeto mantentzeko aukera ematen dute erabilera-aldi luzeetan, eta horrek funtsezkoa da plasma morfologia egonkortzeko eta uniformetasuna bermatzeko.

3. Partikulen belaunaldi baxua: higaduraren erresistentzia dela eta, osagaien zahartzeak sortutako partikulak asko murrizten ditu, eta, beraz, errendimendua hobetuz.

4. Garbitasun altua: saihestu metalezko edo beste ezpurutasunak sartzea.

Erabiltzailearen balioa:

Osagaien ordezko zikloak asko hedatu, mantentze kostuak eta ekipamenduak nabarmen murrizten dituzte; grabatzeko prozesuen egonkortasuna eta errepikapena hobetu; Murriztu akatsak eta hobetu handiko txiparen fabrikazioaren etekina hobetu.

ⅢLaburpen

Silicon Carbide Solicon Modern Modern Modern Modern Modern Mitise-en propietate fisikoen konbinazio paregabea izan da. Ezaugarri fisikoen konbinazio paregabea dela eta, gogortasun handia, urtze puntu altua, eroankortasun termiko handia, egonkortasun kimiko bikaina eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina. Ogiak eramateko garraiolari bat den ala ez, gasaren banaketa kontrolatzeko edo plasma gidatzeko.

Txinan, Txinan silizio solidoen karburo produktuen hornitzaile eta hornitzaile garrantzitsu gisa,Elektronirahala nola, produktuakSIC WABER GARRANTZITSUA / Itsasontzia, SIC Disko itxurako / gas dutxa sendoa, SIC SIC SICT SOCHING fokua eraztun / ertza eraztunaOso saltzen dira Europan eta Estatu Batuetan, eta laudorio handia lortu dute bezero hauengandik. Zintzotasunez espero dugu zure epe luzeko bikotea Txinan bihurtzea. Ongi etorri kontsultatzeko.

MOB / WHATSAPP: + 86-180 6922 0752

Posta elektronikoa: anny@veteksemi.com