Ihinztatze termiko erdieroaleen teknologia

Erdieroaleen Spraying Termikoaren teknologia estatu urtoko edo erdi urperatu batean materialak sprays surdigrafo baten azalera sprayak egiten dituen prozesu aurreratua da, estaldura osatzeko. Teknologia hau oso erabilia da erdieroaleen fabrikazio eremuan, batez ere substratuaren gainazalean funtzio zehatzak dituzten estaldurak sortzeko erabiltzen da, hala nola, eroankortasuna, isolamendua, korrosioarekiko erresistentzia eta oxidazioarekiko erresistentzia. Iragarpen teknologiko termikoaren abantaila nagusiak eraginkortasun handia, estaldura kontrolatzeko lodiera eta estalduraren atxikimendu ona dira, bereziki garrantzitsua da zehaztasun eta fidagarritasun handia eskatzen duen erdieroaleen fabrikazio prozesuan.

Spraying teknologia termikoaren aplikazioa erdieroaleetan

Plasma habe grabaketa (grabaketa lehorra)

Normalean dirdira-isurketa erabiltzeari egiten dio erreferentzia partikula aktiboak sortzea, plasma eta elektroiak bezalako partikula aktiboak sortzeko. produktuak eta kentzen dira, horrela, patroien transferentziaren grabaketa teknologia osatzeko. Prozesu ordezkaezina da eredu fotolitografikoen eredu fotolitografikoen transferentziaren transferentzia egiteak, eskala ultra-handiak zirkuitu integratuen ekoizpenean.

Cl eta F bezalako erradikal aske aktibo ugari sortuko dira. Gailu erdieroaleak grabatzen dituztenean, ekipoaren beste atal batzuen barne-gainazalak korroditzen dituzte, aluminio-aleazioak eta egitura zeramikazko piezak barne. Higadura indartsu honek partikula kopuru handia sortzen du, eta horrek ekoizpen-ekipoen maiz mantentze-lanak behar ez ezik, grabaketa-prozesuaren ganberaren porrota eta gailua kaltetzen ditu kasu larrietan.

Y2O3 propietate kimiko eta termiko oso egonkorrak dituen materiala da. Bere urtze puntua 2400 ℃ baino urrunago dago. Ingurune korrosibo sendoan egonkor egon daiteke. Plasmaren bonbardaketarekiko erresistentziak asko hedatu dezake zerbitzuaren osagaien bizitza eta grabatutako ganbaran partikulak murrizten ditu.

Irtenbide nagusiak garbitasun handiko Y2O3 estaldura spray da grabaketa ganbera eta beste funtsezko osagaiak babesteko.