SiC estalitako barril susceptor LPE PE2061Srako

Vetek erdieroalea Txinako SIC estalitako upel susceptor profesionala daLPE PE2061Sfabrikatzailea eta hornitzailea.

LPE PE2061S-rako VeTeK Semiconductor SiC estalitako upel suszeptorea errendimendu handiko produktua da silizio karburozko geruza fin bat grafito isotropo oso araztuaren gainazalean aplikatuz sortutakoa. Hau VeTeK Semiconductor-ren jabedunaren bidez lortzen daVapor Kimikoen Gordailua (CVD)Prozesua.

LPE PE2061S-rako gure SIC estalitako upelak CVD epitaxial deposition upel erreaktorea da, muturreko inguruneetan errendimendu fidagarria emateko diseinatuta dago. Estaldura estalduraren atxikimendua, tenperatura altuko oxidazioarekiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia aukera bikaina da baldintza gogorretan erabiltzeko. Gainera, bere profil termiko uniformea ​​eta gasaren fluxu laminar-ereduak kutsadura ekiditen du, kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.

Gure erdieroalearen upel itxurako diseinuaerreaktore epitaxialaLaminar gasaren fluxu ereduak optimizatzen ditu, bero banaketa uniformea ​​bermatuz. Horrek ez du ezpurutasunen kutsadura edo hedapena ekiditen,Wafer substratuetan kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatzea.

Gure bezeroei kalitate handiko eta errentagarriak diren produktuak eskaintzera arduratzen gara. Gure CVD SiC estalitako Barril Susceptor-ek prezioen lehiakortasunaren abantaila eskaintzen du, bai dentsitate bikaina mantenduz.Grafito substratuaetasiliziozko karburozko estaldura, babes fidagarria eskainiz tenperatura altuko eta lan-ingurune korrosiboetan.

CVD SIC FILM KRISTAL EGITURAREN SEM DATUAK:

Kristal bakarreko hazkuntzarako SiC estalitako upel suszeptoreak gainazaleko leuntasun oso handia erakusten du.

Grafito substratuaren eta hedapen termikoen koefizientearen arteko aldea minimizatzen du

Silizio karburo estaldura, modu eraginkorrean hobetzeko indarra eta pitzadurak eta delaminazioa prebenitzea.

Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko estaldurak eroankortasun termiko handia eta banaketa termikorako gaitasun bikainak dituzte.

Urtze-puntu altua du, tenperatura altuaOxidazioarekiko erresistentzia, etakorrosioarekiko erresistentzia.