SiC Aguaforte Solidoa Fokatze Eraztuna

Vetek erdieroaleak aurrerapen handia egin du CVD SIC SIC teknologian eta orain mundu mailako maila berdineko eraztun sendoa ekoizteko gai da. Vetekeko erdieroalearen SIC SIC SIC SIC Focing Ring Focusing Silicon Carbide-ko produktu materiala da, lurrun kimikoen gordailuaren prozesuaren bidez sortua.

SIC SIC grabaketa fokatze eraztuna erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen da, batez ere plasma grabatzeko sistemetan. SIC Focus eraztuna osagai erabakigarria da, silizio karburo (SIC) ogitartekoen grabaketa zehatza eta kontrolatua lortzen laguntzen duena.

Plasma grabatzeko prozesuan zehar, fokuen eraztunak hainbat rol jotzen ditu:

● Plasma fokatuz: SIC SIC grabaketa fokatze eraztunak plasma obraren inguruan moldatzen eta kontzentratzen laguntzen du, grabaketa prozesua modu uniformean eta modu eraginkorrean gertatzen dela ziurtatuz. Plasma nahi den eremura mugatzen laguntzen du, inguruko eskualdeetan grabaketa edo kalteak saihestuz.

●  Ganberaren hormak babestea: Fokatze-eraztunak hesi gisa jokatzen du plasma eta ganberako hormen artean, kontaktu zuzena eta balizko kalteak saihesten ditu. SiC oso erresistentea da plasma higadurarekin eta babes bikaina eskaintzen die ganberaren hormei.

●  TEnperatura kontrola: SIC Focus eraztunak tenperatura uniformeko banaketa mantentzen laguntzen du grabaketa prozesuan. Beroak xahutzen laguntzen du eta grabaketa emaitzetan eragina izan dezaketen gradiente berogailuak edo gradiente termikoak ekiditen ditu.

SiC solidoa eraztunak fokatzeko aukeratzen da, egonkortasun termiko eta kimiko bikainagatik, erresistentzia mekaniko handiagatik eta plasma higaduragatik erresistentziagatik. Propietate horiei esker, SiC material egokia da plasma grabaketa-sistemen barruko baldintza gogor eta zorrotzetarako.

Azpimarratzekoa da eraztunen bideratzeen diseinua eta zehaztapenak alda daitezkeela plasma grabatzeko sistema eta prozesuen eskakizunen arabera. Vetek erdieroaleek eraztunen forma, dimentsioak eta gainazalaren ezaugarriak optimizatzen dituzte, etiketa ezin hobea eta iraupena bermatzeko. SIC SIC oso erabilia da ogitartekoak, suszeptoreak, xafla, gida eraztunak, grabatzeko prozesuko piezak, CVD prozesua eta abar.