SiC gas solidoko dutxa-burua

SIC gas solidoa dutxa burua

Vetek erdieroalea ikerketa, ekoizpen eta salmentari eskainitako enpresa integratua da. Vetek erdieroaleak epitaxia, etiketa eta prozesuarekin lotutako beste produktu batzuk lantzen aritu da urte askotan, batez ere CVD SIC estaldura, CVD Tac estaldura eta CVD Solid SIC gure produktu garrantzitsuak dira.

VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Dutxa Burua normalean erabiltzen da erdieroaleen CVD prozesuetan gas aitzindariak substratuaren gainazalean uniformeki banatzeko. Dutxa buruetarako CVD-SiC materiala erabiltzeak hainbat abantaila eskaintzen ditu. Bere eroankortasun termiko handiak CVD prozesuan sortutako beroa xahutzen laguntzen du, substratuan tenperatura banaketa uniformea ​​bermatuz. Gainera, CVD sic dutxa-buruaren egonkortasun kimikoak CVD prozesuetan aurkitu ohi diren gas korrosiboak eta ingurune gogorrak jasaten ditu. 

CVD SiC dutxa buruen diseinua CVD sistema eta prozesu eskakizun zehatzetara egokitu daiteke. Hala ere, normalean plaka edo disko-formako osagai batez osatuta daude, doitasunez egindako zulo edo zirrikitu batzuekin. Zuloen eredua eta geometria arretaz diseinatuta daude substratuaren gainazalean gasaren banaketa eta fluxu-abiadura uniformea ​​bermatzeko.

SIC solidoaren propietate fisikoak