Sic dutxa burua

Vetek erdieroaleek SIC dutxa aurreratuaren burua eskaintzen die erdieroaleen industriara. Silizio karburo materialak propietate termiko, elektriko eta kimiko bikainen konbinazio paregabea dute, errendimendu handiko materialak behar diren erdieroaleen industrian aplikazioak egiteko aproposak eginez. Vetek erdieroaleak esperientzia pilatua izan du CVD SIC SIC teknologian. Vemen erdieroalearen teknologia iraultzaileak SIC dutxaren burua, lurrunaren gordailu kimikoen prozesuaren bidez sortutako silizio karburo ultra-altua da.

SIC dutxa burua erdieroaleen fabrikazioan osagai funtsezkoa da, berariaz MOCVD sistemetarako diseinatuta, silizio epitaxia etaSikoEpitario prozesuak. Sendoa eginaSilicon karburu solidoa (sic)Gainera, osagai honek plasma prozesatzeko eta tenperatura handiko aplikazioen muturreko baldintzak jasan ditzake.

Silizio karburoa (sic)Ezaugarri termiko altuagatik, korrosioaren erresistentzia kimikoagatik eta aparteko indar mekanikoarengatik da ezaguna, SIC dutxa burua bezalako sic osagaien material aproposa bihurtuz. Gas dutxako buruak prozesuaren gasen banaketa areagotu egiten du Wafer gainazalean, funtsezkoa da kalitate handiko geruza epituxialak ekoizteko. Fokuak eraztunak eta ertzak eraztunak, maiz CVD-sic-tik eginda, plasma banaketa uniformea ​​mantentzen dute eta ganbera kutsatzetik babesten dute, hazkunde epituxialaren eraginkortasuna eta errendimendua hobetuz.

Gas-fluxuen kontrol zehatza eta material propietate bikainekin, SIC dutxaren burua funtsezko osagaia da erdieroaleen prozesamendu modernoan, silizio epitaxia eta sic epitaxia aplikazio aurreratuak babesten.

Vetek erdieroaleak erresistentzia baxua eskaintzen du Silicon karburo erdieroaleen dutxa burua. Ingeniari eta hornidura pertsonalizatzeko gaitasuna duguZeramikazko material aurreratuakhainbat gaitasun berezi erabiltzea.