TaC estalitako grafito hargailua

Ongi etorria zara gure VeTek Semiconductor fabrikara etortzera, azken salmenta, prezio baxua eta kalitate handiko TaC estalitako grafito susceptor erosteko. Espero dugu zurekin lankidetzan aritzea.

Tantalum Carbide zeramikazko materiala 3880 ℃ arte, konposatuaren egonkortasun handia da eta konposatuaren egonkortasun kimiko ona da, tenperatura altuko inguruneak errendimendu egonkorra mantendu dezake, gainera, tenperatura erresistentzia handia, korrosio kimikoen erresistentzia, kimiko ona eta karbono materialekin eta bestelako ezaugarriekin bateragarritasun mekanikoa, grafito-azpi-estaldura-material aproposa bihurtuz. Tantalum karburoaren estaldurak grafikoaren osagaiak modu eraginkorrean babestu ditzake amoniako hidrogeno eta silikonaren lurrunaren eta metal urtuaren eraginpean, grafitoen osagaien zerbitzuaren bizitza nabarmen zabaltzen da eta grafitoan dauden ezpurutasunen migrazioa inhibitzen du. Epitario eta kristal hazkuntzaren kalitatea ziurtatuz. Zeramikazko prozesu hezeetan erabiltzen da batez ere.

Vapor Kimikoen Gordailua (CVD) da grafitoaren gainazalean Tantalum karburo estalduraren prestaketa metodo heldu eta optimorik onena.

CVD TaC estaldura-metodoa TaC estalitako grafito susceptorarentzat:

Estalduraren prozesuak TACL5 eta propilenoa karbono iturri eta tantalum iturri gisa erabiltzen ditu hurrenez hurren, eta Argonek garraiatzaile gisa, Tantalum Pentachloruro lurruna erreakzio ganberara eramateko tenperatura garen ondoren. Xede tenperaturaren eta presioaren azpian, aitzindarien materialaren lurruna grafitoaren azaleraren gainazalean dago eta, esate baterako, karbono iturria eta tantalum iturria konbinatzen dira. Aldi berean, gainazaleko erreakzio sorta bat, esaterako, azpidatzien desfusioa eta produktuen desorzioak ere parte hartzen dute. Azkenik, babes geruza trinko bat grafitoaren azaleraren gainazalean eratzen da, grafitoaren zatia babesten duena, muturreko ingurumen baldintzetan egonkorra izatea. Grafito materialen aplikazioen eszenatokiak nabarmen hedatzen dira.

TAC estalitako grafitoaren produktuen parametroa:

Ekoizpen dendak:

Epitaxia Industria Katearen erdieroalearen ikuspegi orokorra: