TAC estaldura gurutzagarria

Erdieroaleak jorratzen dituCVD TAC estalitako gurutzeakNormalean PVT metodoaren funtsezko eginkizunak betetzen dituzte SIC kristal hazkunde prozesuan:

PVT metodoak SIC hazi kristala jartzea aipatzen du TAC estalitako gurutzearen gainean, eta SIC hautsa gurutzearen behealdean dagoen lehengai gisa jarriz. Tenperatura altuko eta presio baxuko ingurune itxi batean, SIC hautsak sublimatzen ditu, eta tenperatura gradientearen eta kontzentrazio desberdintasunaren araberaSic hautsahaziaren kristalaren inguruetara transferitzen da eta estaldura birziklatu ondoren egoera superatorratua lortzen du. Hori dela eta, PVT metodoak SIC kristalen tamaina eta kristal forma zehatzaren hazkunde kontrolagarria lor dezake.

● Kristalaren hazkuntzaren egonkortasun termikoa

Vetek erdieroaleen TAC estalitako gurutzatuek egonkortasun termiko bikaina dute (2200 ℃ baino gutxiago egon daitezke), eta horrek egunerokotasuna mantentzen laguntzen du kristal hazkunde bakarrerako beharrezkoak diren tenperatura oso altuetan. Jabetza fisiko honek SIC estalitako grafitoaren grafitoak kristalen hazkuntza prozesua zehatz-mehatz kontrolatzeko aukera ematen du, eta ondorioz, oso uniformeak eta akatsik gabeko kristalak dira.

● Barrera kimiko bikaina

TAC estalitako gurutzeak Tantalum karburo estaldura bat konbinatzen du garbitasun grafito handiko grafitarekin, erresistentzia bikaina lortzeko, SIC kristal hazkunde bakarrean topatutako produktu kimiko korrosibo eta urtoko sorta zabalari aurre egiteko. Jabetza kritikoa da kalitate handiko kristalak lortzea akats minimoekin.

● Hazkunde ingurune egonkor baterako bibrazioak murriztea

TAC estalitako giltzurruneko propietate bikainek bibrazioak eta shock termikoak grafito gurutzatuaren barruan minimizatzen dituzte. Interferentzia iturri potentzial horiek arinduz, TAC estaldurak akatsak urratu eta uniformeagoen hazkuntza ahalbidetzen du akats-dentsitate murriztua, azken finean gailuaren errendimendua handituz eta gailuaren errendimendua hobetzeko.

● eroankortasun termiko bikaina

Vetekemicon-en estalitako gurutzatuek eroankortasun termiko bikaina dute, grafitoa gurutzeari beroa azkar eta modu berdinean transferitzeko balioko diena. Horrek tenperaturaren kontrol zehatza zehazten du kristal hazkunde prozesuan zehar, gradiente termikoek eragindako kristal akatsak minimizatuz.

Tantalum Carbide (TAC) zeharkako sekzio mikroskopikoan estaldura

Propietate fisikoakTantalum karburo estaldura

Vetek erdieroaleen ekoizpen dendak