Zeramikazko elektrostatikoa

Erdieroaleen ekoizpen prozesuak, batez ere waffer prozesamendua, hutsezko ingurunean egiten dira eta mekanikoki estaltzen duten wafers 

zenbait arrisku. Indarra estutzen duen puntuan kontzentratzen denean, siliziozko ogiak hauskorrak zatitu egin daitezke, txikien produkzioan kalte larriak eragin ditzake.

Kasu honetan, zeramikazko elektrostatikoa Chuck aukera hobea bihurtzen da, eta horrek ogiak indar elektrostatikoen bidez konpontzen du. Indar elektrostatikoak obran modu berdinean jokatzen du, beraz, obrapean lauki konpondu daiteke, prozesuaren zehaztasuna hobetuz.

Ikerketa-paper garrantzitsuen arabera, zeramikazko elektrostatikoa Chuck-ek beste chuck elektrostatiko batzuek baino xurgatzaile sendoagoa du. Adibidez, zeramikazko chuck elektrostatiko elektrostatikoak maskota elektrostatikoa Chuck baino gehiago du xurgagailu handiagoa.

Zeramika Chuck normalean errendimendu handiko zeramikazko materialez egin ohi da, hala nola Al2o3, ALN edo SIC, eta horrek beroarekiko erresistentzia, isolamendu eta korrosioarekiko erresistentzia handia du. Zeramikazko zeramikazko porotsua ez da muturreko tenperaturetan egonkorra izateaz gain, eraginkortasunez ekiditen du zeramikazko e-chuckak degradaziotik degradaziotik, erreaktibo kimikoengatik eta plasma grabatzeko fabrikazio prozesuan.

Tenperatura kontrolatzea: Eragiketa termiko altua eta zeramikazko materialen propietate termiko egonkorrak aukera ematen du alumina zeramikazko hutsezko chuck modu eraginkorrean kontrolatzeko tenperatura, eta horrela, prozesuan tenperatura banaketa optimizatuz.

Hutsezko egokitasuna: Zeramikazko elektrostatikoa Chuck egokia da hutsezko inguruneetarako, batez ere presio baxuko eta zehaztasun handiko grabaketa prozesuetan.

Partikulen belaunaldi baxua: SIC zeramikazko e-chuck porotsuak gainazal leuna du, eta horrek partikulen kutsadura murriztu dezake wafer finkatzeko eta produktuen errendimendua hobetzen laguntzeko.

Aplikazioa: batez ere erdieroaleen fabrikazioan, zeramikazko elektrostatiko elektrostatikoa erabilita kokapen eta egonkortasun zehatza eskaintzen duena, hau da, oso lagungarria da litografian, grabaketarako eta beste erdieroaleen fabrikazio prozesuak prozesatzeko. Ziurtatu xafla osorik prozesatzeko eta txipa ekoizpenaren kalitatea hobetzeko.

Erdieroalea daZeramikazko E-Chuck produkzio-dendak: