Erdieroalearen zeramikazko tobera

Zeramikazko pita erdieroaleak paper garrantzitsua betetzen duHDP-CVD prozesua, gasaren fluxua zehatz kontrolatzeko eta ziurtatzeko erabiltzen dakalitate handiko film-deposizioa. Tobera zeramikazko sprayak, hain zuzen, gas-fluxu tasa koherentea eta kontrolagarria bermatzeko ingeniaritza da, gasaren erreakzio ganberara sartzen denean turbulentzia gutxituz.

Zehaztapen teknikoak:

1.Material konposizioa:

Vetek erdieroalearen zeramikazko harea eztanda egiteko tobera normalean zeramika erdieroaleaz egina dago, esate baterako, aluminiozko oxidoa (al2o3),Silizio karburoa (sic)edo zirkonio oxidoa (Zro2), material horiek propietate bikainak dituzte:

    • Egonkortasun termiko altua (tenperatura 1000 ℃ jasan dezake)

    • Erabilitako gas erreaktiboen korrosioarekiko erresistentziaCVD prozesuak(esaterako, silanoa, amoniakoa)

    • Etengabeko plasma esposizioarekiko erresistentzia.

2. Egiturazko Diseinua:

    • Orifizioaren tamaina: Erdieroaleen zeramikazko pitaren orifizioa zientifikoki diseinatuta dago gas-fluxuaren kontrol zehatza ahalbidetzeko, eta horrek filmaren uniformitatean eta lodieran eragiten du.

    • Angeluak eta geometriak: zehatz-mehatz diseinatuta substratuan zehar gas banaketa uniformea ​​ziurtatzeko, metatutako geruzan akatsak minimizatuz.

Erdieroaleen industrian, erdieroaleen zeramikazko eztanda toberak funtsezko eginkizuna du nagusiki HDP-CVD prozesuan. Mikroelektronika ekoizteko film meheak gordetzeko ere erabiltzen dira, kalitate handiko gainazaleko estaldurak eta kutsatzaile askeak diren kalitate handiko estaldurak bermatuz.

Vetek erdieroalearen zeramikazko tobera Denda: