Alumina zeramikazko hutsezko chuck

Alumina zeramikazko hutsean Chuck erdieroaleen prozesamendu epitaxialetarako euskarri bat da. Tresna funtsezkoa da ogiak egonkortzeko eta geruza epituxialen hazkunde uniformea ​​bermatzeko. Oso erabilia da ekipamendu epituxialetan, esaterakoMocvdetaLpcvd.

Vetek erdieroaleak alumina zeramikazko hutsean hutsean funtsezko papera du Wafer Thinning eta Artezteko Fabrikazioen Fabrikazioko Faseetan. Etapa horiek, hain zuzen, lodiera murriztea dakarwafer substratuTxipa beroaren xahutzea hobetzeko ezinbestekoa da gailu erdieroaleen eraginkortasuna eta bizitza hobetzeko.

Bateragarria da wafer tamaina anitzekin: Vetek erdieroalearen alumina zeramikazko hutsezko chuck xafla tamaina zabala laguntzeko diseinatuta dago, besteak beste, 2, 3, 4, 5, 6, 8 eta 12 hazbete barne. Egokitasun honek sekulako ekoizpen inguruneetarako aukera ematen du, errendimendu koherente eta fidagarria bermatuz wafer tamaina desberdinetan.

Goi mailako konposizioa: Alumina zeramikazko hutsezko chuck oinarria ultra-pure% 99,9999% alumina (al₂O₃), eraso kimikoarekiko erresistentzia bikaina eta egonkortasun termikoa eskaintzen dituena. Chuck azalera porotsua daSilizio karburoa (sic). Zeramikazko material porotsuak egitura trinkoa eta uniformea ​​du, bere iraunkortasuna eta errendimendua hobetzen dituena.

AbantailakZeramikazko teknologia porotsua：

Material garbitasuna eta iraunkortasuna.

Porositate eta aire iragazkortasuna optimoa: Banatutako mikroporeak aire iragazkortasun bikaina eta adsorzio indar uniformea ​​eskaintzen ditu, eragiketa leuna eta koherentea lortuz.

Lautasuna eta paralelismoa hobetua: Alumina mikroporozerako zeramikazko hutsezko chucksek lautada eta paralelismo bikaina dute, wafer manipulazio eta egonkortasun zehatza bermatuz.

Neurrira egindako zerbitzuen gaitasunak: Vetekesemi-k hainbat forma pertsonalizagarriak eman ditzake, besteak beste, biribilak, karratuak, eraztunak eta bestelako diseinuak, 3mm-tik 10mm-ra bitarteko lodiera. Pertsonalizazio honek bermatzen du gure alumina zeramikazko hutsezko chucks-ek fabrikazio prozesu desberdinen behar espezifikoak betetzen dituela eta zure aukera ezin hobea da.

Vetek erdieroaleak teknologia aurreratuak eta produktuen soluzioak eskaintzeko konpromisoa hartu du, eta espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.

-AFormula kimikoaalumina zeramika：

Erdieroalea daAlumina zeramikazko hutsezko kateak: