CVD SiC estalitako grafito susceptor Wafer Carrierrako

1. Produktuaren abantailak

• Garbitasun handiko materiala:Erdieroale-mailako grafito-materialak eta SiC estaldura-egitura trinkoak kutsadura-arriskuak minimizatzen dituzte eta CVD SiC estalitako grafito suszeptorearen fidagarritasuna hobetzen dute.
• Uniforme termiko bikaina:Grafitoaren egitura optimizatuak eta SiC estaldurak bero-transferentzia egonkorra eta obleen tenperatura-kontrol uniformea ​​eskaintzen dute.
• Erresistentzia kimiko handia:SiC estaldura trinkoak prozesuko gasen eta ingurune korrosiboen aurkako erresistentzia handia eskaintzen du.
• Zerbitzu-bizitza luzea:Gogortasun eta higadura-erresistentzia handiak iraunkortasuna hobetzen dute tenperatura altuko epitaxia baldintzetan.
• Partikula baxua sortzea:CVD SiC gainazal trinkoak partikulen askapena murrizten du eta obleen prozesuaren fidagarritasuna hobetzen du.
• Pertsonalizatutako diseinu-gaitasuna:Tamaina, egitura eta konfigurazio ezberdinetan eskuragarri dago ekipoen eskakizunen arabera.

2. Zehaztapen Teknikoak

3. Aplikazioak

• SiC epitaxia prozesua:Grafitoaren suszeptorea obleen eramaile gisa erabiltzen da SiC epitaxia ekipoetan, SiC substratuei eusten die tenperatura altuko epitaxiaren hazkundean.
• Silizio epitaxia prozesua:Silizio epitaxial erreaktoreetan aplikatzen da obleak eusteko eta baldintza termiko egonkorrak mantentzeko.
• MOCVD epitaxia:VETEK grafito suszeptoreak egokiak dira MOCVD, LED epitaxia, GaN epitaxia, silizio epitaxia eta beste erdieroaleen fabrikazio prozesuetarako uniformetasun termiko eta egonkortasun kimiko bikaina eskatzen dutenak.
• Erdieroaleak fabrikatzeko ekipoak:Hainbat epitaxia plataformarekin bateragarria, LPE labe horizontalekin, Aixtron, NuFlare eta erlazionatutako erdieroaleen ekipamenduekin.

4. Zergatik aukeratu VETEK?

VETEK-ek CVD SiC estalitako grafito susceptor soluzio pertsonalizatuak eskaintzen ditu grafitoaren arazketa, doitasun mekanizatua, CVD estaldura eta ikuskapen gaitasunak integratuz. Gure erdieroale-mailako grafito susceptor produktuek garbitasun handia, estaldura-lodiera uniformea, errendimendu termiko bikaina eta zerbitzu-bizitza luzea dituzte oble-eramaileen aplikazio zorrotzetarako.