CVD SiC Estaldura Grafito Piezen Garbiketa Zerbitzua

1. Aurre egin dezakezun erronkak

• AlN geruza kentzen zaila:1300 °C-ko garbiketa termikoak oraindik ezin du AlN geruza hondar-geruza modu eraginkorrean grabatu.

• Memoriaren efektu errepikakorra:Azaleko memoria-efektuak gas-fluxu ezegonkorra eragiten du erreaktorean, eta prozesuaren koherentzia eragiten du.

• Garbiketa Zikloa Impacts Errendimendua:Normalean, 16 prozesu-ziklo bakoitzean (4-5 susceptor) kanpoko garbiketa behar da.

• Estaldura garestiak kaltetzeari buruzko kezka:Garbiketa kimiko barneko esperientziarik ezak operadoreak zalantzan jartzen ditu garbiketa oldarkorra saiatzeko.

2. Gure irtenbidea - GaN / AlN / AlGaN prozesuetarako diseinatua

• Garbiketa profesionala:Prozesu pertsonalizatua CVD SiC estalitako grafito piezetarako bereziki garatua. Ez da formula kimikorik eskatzen bezeroari.

• Estalduraren segurtasuna:100 µm CVD SiC estaldura zorrotz babesten du. Erabateko zero lodiera-galera garbitu ondoren.

• Egiazta daitezkeen emaitzak:Azterketa Ziurtagiri osoa (COA) oinarrizko bost dimentsio hartzen dituena. Datuak artxibatzeko eta kalitate-ikuskaritzarako prest.

3. Oinarrizko bost onarpen-irizpide

Erdieroaleen epitaxia erabiltzaileen eskakizun kritikoekin zorrotz lerrokatuta:

1. Zero estaldura-galera– SiC estalduraren lodiera ez da inoiz murrizten garbiketa ondoren (lodiera aurreko/ondoko konparaketa egiaztatzea).

2. Gainazalaren deformaziorik ez– Lautasuna eta zehaztasun geometrikoa zorrotz ikuskatzen dira deformazio fisikorik ez ziurtatzeko.

3. Ezabatu Memoria Efektua- Al/Ga hondarrentzako XPS azterketak memoria-efektu iturriak erabat kentzea berresten du.

4. Zero Metal Hondar– Fe, Cu, Ni eta beste metal batzuen ICP-MS probak zero hondar ezpurutasun metaliko egiaztatzen du.

5. Gehiegizko partikularik ez– QIII partikulen proba gehi garbitasunaren egiaztapenak hondar partikulek eragindako gas-fluxuaren ezegonkortasuna saihesten dute.

4. Entrega-ikuskapena eta COA txostena

Lote bakoitza egiaztapen-datu osoekin entregatzen da oinarrizko bost dimentsiotan:

5. Produktu aplikagarriak eta prozesuen aurrekariak

Produktuaren Parametroak

Zerbitzu Prozesua

1. Kontsulta- Bidali piezaren argazkiak / eredua / kantitatea ebaluatzeko.

2. Aipamena– Balorazio teknikoa eta garbiketa-proposamen zehatza aurrekontuarekin.

3. Bidalketa– Bidal ezazu piezak gurera edo antolatu bilketa zerbitzua.

4. Garbiketa– Garbiketa profesionala + dimentsio anitzeko ikuskapen osoa.

5. Txostena– COA txostena igorri eta garbitutako piezak itzuli dira.

6. Jarraipena– Efektuen jarraipena eta etengabeko laguntza teknikoa.

6. Zergatik aukeratu VETEK Garbiketa Zerbitzua?

VETEK-ek CVD SiC estaldura teknologian esperientzia sakona konbinatzen du balio handiko grafitoaren susceptorentzako garbiketa gaitasun espezializatuekin. GaN/AlN epitaxian estalduraren osotasunaren, partikulen kontrolaren eta prozesuen garbitasunaren garrantzia kritikoa ulertzen dugu. Gure zerbitzua CVD SiC estaldura garestietarako erabateko segurtasuna eskatzen duten bezeroentzat diseinatuta dago, memoria-efektua eta gas-fluxuaren ezegonkortasun arazoak guztiz konpontzen dituzten bitartean.

· Proba garbiketa eskuragarri lote txikiak egiaztatzeko

· Bidalketa bakoitzean ematen den COA txosten osoa

· Estaldurak kaltetzeko edo kutsatzeko arriskurik ez izatea

· Profesionala · Segurua · Egiaztagarria