CVD sic krepe suszeptorea

Erdieroalea da CVD Sic Pancake Suscordor fabrikatzen da produktu kimikoen azken gordailua (CVD) teknologia erabilgarritasun bikaina eta tenperatura egokitasuna bermatzeko. Honako hauek dira propietate fisiko nagusiak:

● Egonkortasun termikoa: CVD SICren egonkortasun termiko altuak errendimendu egonkorra bermatzen du tenperatura altuko baldintzetan.

● Hedapen termiko baxuko koefizientea: Materialak hedapen termikoko koefiziente oso baxua du, tenperatura aldaketen ondorioz sortutako deformazioa eta deformazioa minimizatzen duena.

● Korrosio kimikoen erresistentzia: Erresistentzia kimiko bikainak errendimendu altua mantentzeko aukera ematen du ingurune gogorretan.

Laguntza zehatza eta bero transferentzia optimizatua

Vetekemi-ren Pancake Sicked oinarritutako SIC estalita erdieroaleen ogiak egokitzeko diseinatuta dago eta epituxial gordailuen garaian laguntza bikaina eskaintzen du. SIC Pancake suszeptorea konputazional simulazio teknologia aurreratua erabiliz diseinatuta dago, tenperatura eta presio baldintza desberdinetan deformatzea eta deformazioa minimizatzeko. Hedapen termikoko koefiziente tipikoa 4.0 × 10 ingurukoa da^-6/ ° C, horrek esan nahi du bere dimentsioaren egonkortasuna tenperatura handiko inguruneetan material tradizionalak baino nabarmen hobea dela, eta, beraz, ogien lodieraren koherentzia (normalean 200 mm 300 mm) bermatuz.

Horrez gain, CVD krepearen susmoak bero transferentzian nabarmentzen dira, eta gehienez 120 w / m-ko eroankortasun termikoa du. Erosketa termiko altu honek beroa azkar eta modu eraginkorrean egin dezake, labearen barruan tenperatura uniformetasuna hobetu, bero banaketa uniformea ​​ziurtatu epituxial gordailuan, eta bero irregularrak eragindako deposizio akatsak murrizten ditu. Bero-transferentzia optimizatutako errendimendua funtsezkoa da deposizioaren kalitatea hobetzeko, eta horrek prozesuaren gorabeherak modu eraginkorrean murriztu eta errendimendua hobetu dezake.

Diseinu eta errendimendu optimizazio hauen bidez, Vemen Siconctors CVD SIC SIC SIC SICTORek oinarri sendoa eskaintzen du fabrikazio erdieroaleentzat, fidagarritasuna eta koherentzia bermatuz prozesatzeko baldintza gogorren azpian eta erdieroaleen industria modernoaren eskakizun zorrotzak zehaztasun eta kalitate handiak lortzeko.

CVD SIC Zinema kristal egitura

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak
Jabetasun	Balio tipikoa
Kristal egitura	FCC β Fase polikzistalina, batez ere (111) orientatuta
Dentsitate	3.21 g / cm³
Gogortasun	2500 Vickers gogortasuna (500g karga)
Alearen tamaina	2 ~ 10mm
Garbitasun kimikoa	% 99.99995
Bero gaitasuna	640 j · kg-1· K-1
Sublimazio tenperatura	2700 ℃
Flexio indarra	415 MPA RT 4 puntu
Gaztearen modulua	430 GPA 4pt bihurgunea, 1300 ℃
Eroankortasun termikoa	300w · m-1· K-1
Hedapen termikoa (CTE)	4,5 × 10-6K-1