EPI hartzailearen piezak

Produktuari buruzko informazio orokorra

Produktuen negozio-baldintzak

✔ Aplikazioa: SiC epitaxial prozesuetan azken errendimendua eta etekina lortzeko, Veteksemicon EPI Susceptor-ek egonkortasun termiko eta uniformetasun bikaina eskaintzen du, potentzia eta RF gailuen errendimendua hobetzeko eta kostu orokorrak murrizteko funtsezko euskarri bihurtuz.

✔ Eman daitezkeen zerbitzuak: bezeroen aplikazio-eszenatokien azterketa, materialak lotzea, arazo teknikoak ebaztea. 

✔ Enpresaren profila：Veteksemicon-ek 2 laborategi ditu, 20 urteko material esperientzia duen aditu talde bat, I+G eta ekoizpen, proba eta egiaztapen gaitasunekin.

Nire arerioa EPI Kontratistaren zatiaren oinarrizko abantailak

1. Ziurtatu azken uniformetasuna

Silizio karburoko prozesu epitaxialetan, mikra-mailako lodieraren gorabeherak eta dopinaren deshomogeneotasunak zuzenean eragiten dute azken gailuaren errendimenduan eta etekinean. Veteksemian EPI Susceptor-ek eremu termikoen banaketa optimoa lortzen du erreakzio-ganberaren barruan, simulazio termodinamiko zehatzaren eta egitura-diseinuaren bidez. Eroankortasun termiko handiko substratu baten hautapenak, gainazaleko tratamendu prozesu berezi batekin konbinatuta, oblearen gainazaleko edozein puntutan tenperatura-diferentziak oso tarte txikian kontrolatzen direla bermatzen du, abiadura handiko biraketa eta tenperatura altuko inguruneetan ere. Horrek ekartzen duen balio zuzena oso erreproduzigarria den lotez loteko geruza epitaxial bat da, uniformetasun bikaina duena, oinarri sendoak ezarriz errendimendu handiko eta oso koherenteak diren potentzia-txipak fabrikatzeko.

2. Tenperatura altuen erronkari aurre egitea

SiC epitaxial prozesuek normalean 1500 °C-tik gorako tenperaturan funtzionamendu luzea eskatzen dute, edozein materialentzako erronka larria dakarrela. Veteksemicon Susceptor-ek bereziki tratatutako isostatikoki prentsatutako grafitoa erabiltzen du, zeinaren tenperatura altuko malgutasun-erresistentzia eta arrastatze-erresistentzia grafito arruntarena baino askoz ere handiagoa da. Tenperatura altuko ziklo termiko etengabeko ehunka ordu igarota ere, gure produktuak hasierako geometria eta erresistentzia mekanikoa mantentzen ditu, erretiluaren deformazioak eragindako obleen deformazio, irristatze edo prozesu barrunbearen kutsadura arriskuak eraginkortasunez saihestuz, funtsean ekoizpen jardueren jarraipena eta segurtasuna bermatuz.

3. Prozesuaren egonkortasuna maximizatzea

Ekoizpen-etenaldiak eta aurreikusi gabeko mantentze-lanak kostu-hiltzaile handiak dira obleen fabrikazioan. Veteksemicon-ek prozesuen egonkortasuna Susceptor-en oinarrizko metrikatzat hartzen du. Gure CVD SiC estaldura patentatua trinkoa da, ez-porotsua eta ispilu itxurako gainazal leuna du. Horrek tenperatura altuko aire-fluxuan partikulen isurketa nabarmen murrizten du, baina erreakzio-azpiproduktuen (adibidez, SiC polikristalinoa) erretiluaren gainazalean atxikitzea nabarmen moteltzen du. Horrek esan nahi du zure erreakzio-ganbera garbi egon daitekeela denbora luzeagoan, ohiko garbiketa eta mantentze-lanen arteko tarteak luzatuz, eta, hortaz, ekipoen erabilera orokorra eta errendimendua hobetuz.

4. Luzatu zerbitzu-bizitza

Osagai kontsumigarri gisa, suszeptoreen ordezko maiztasunak zuzenean eragiten du produkzio-kostuetan. Veteksemicon-ek produktuaren iraupena luzatzen du ikuspegi teknologiko bikoitz baten bidez: "substratuaren optimizazioa" eta "estaldura hobetzea". Dentsitate handiko eta porositate baxuko grafitozko substratuak modu eraginkorrean moteltzen ditu prozesuko gasen substratuaren sartzea eta korrosioa; aldi berean, gure SiC estaldura lodi eta uniformeak hesi sendo gisa jarduten du, tenperatura altuetan sublimazioa nabarmen kenduz. Mundu errealeko probek erakusten dutenez, prozesu-baldintza berdinetan, Veteksemicon susceptor-ek errendimenduaren degradazio-tasa motelagoa eta zerbitzu-bizitza eraginkor luzeagoa erakusten dute, eta, ondorioz, ostia bakoitzeko operazio-kostu txikiagoak dira.

5. Kate ekologikoa egiaztatzeko abala

Nire arerioa EPI Susceptor Part' kate ekologikoaren egiaztapenak lehengaiak produkziora arte hartzen ditu, nazioarteko ziurtagiri estandarra gainditu du eta teknologia patentatu batzuk ditu erdieroaleen eta energia berrien eremuan bere fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Zehaztapen tekniko zehatzak, liburu zuriak edo laginak probatzeko moldaketak lortzeko, jarri harremanetan gure Laguntza Teknikoko Taldearekin Veteksemicon-ek zure prozesuaren eraginkortasuna nola hobetu dezakeen aztertzeko.

Aplikazio-eremu nagusiak

Nire arerioa produktuen biltegia