Garbitasun handiko kuartzozko ostia

Vetek erdieroalearen garbitasun handiko kuartzozko wafer itsasontzia garbitasun handiko kuartzoz egina dago, hidroxily-eduki txikien ezaugarriak, garbitasun altua eta tenperatura altuko erresistentzia handia ditu. Material hau erdieroale industrian ere oso erabilia da, difusio labeetarako eta CVD labeen osagaiak egiteko material gisa. Silizioko ogiak eramateko edukiontzi gisa, kuartzozko kuartzozko txalupak erdieroale, fotovoltaiko, kimiko eta bestelako zelaietan erabili da.

Aplikazio-eszenatokiak

Lehenengoa erdieroaleen eremua da. Obleen tratamendu termikoko prozesua oso garrantzitsua da, oxidazio termikoa, difusioa, errekostea, etab. Tratamendu termikoaren prozesuaren bidez, oblei ezaugarri berriak ematen dizkiegu.

Labe labeen oinarrizko hodiak Wafer prozesatzeko prozesu erdieroaleak erabiltzen dira, esaterako, oxidazio termikoa, tenperatura altua, barneratzea eta filmaren deposizio mehea. Batch berotzeko labeak labeen gorputza bobinaren bidez berotzeko erabiltzen da, bero tratamendua osatzeko. Lan egitura desberdinen arabera, lote labeen oinarrizko hodiak labe horizontaletan eta labe bertikaletan banatu daitezke:

(1) Labe horizontalaren purutasun handiko kuartzozko ontzia horizontalean jartzen da, beraz, labe horizontala deitzen zaio.

Tratamendu termikoko prozesuan, ostia purutasun handiko Quartz Wafer Boat-ean kargatzen da, poliki-poliki kuartzozko labearen hodira bidaltzen da eta ostia tenperatura konstante batean jartzen da prozesatzeko. Prozesua amaitu arte itxaron ondoren, Wafer erabilitako kuartzozko itsasontzia poliki-poliki ateratzen da kuartzozko labetik ostia bat-bateko tenperatura aldaketen ondorioz honda ez dadin. Labe horizontalak oso erabiliak dira 200 mm-tik beherako obleen diametroa duten zirkuitu integratuen difusio-prozesuan. 

Labe horizontalen abantailak prozesu sinpleak dira, ogien arteko uniformetasun ona eta aldi berean zenbait okuiru prozesatzeko gaitasuna. Desabantailak berogailu abiadura motelak dira, ekipoen tamaina handiak, automatizazio zailtasunak eta kanpoko airearen sarrera erraza, ogiak kargatzean eta deskargatzean.

(2) Labe bertikaleko Kuartzozko Wafer Boat-a bertikalean jartzen da, beraz, labe bertikala deitzen zaio.

Ostia kuartzoko dorrean kargatzen da eta poliki-poliki kuartzozko labearen hodira igotzen da berotzeko. Berotze-prozesuan zehar, purutasun handiko kuartzo-ontzia poliki-poliki biratuko da ostia uniformeki berotzen dela ziurtatzeko. Prozesatu ondoren, kuartzozko dorrea poliki-poliki jaitsiko da ostia kalteak eragin ditzaketen tenperatura-aldaketak saihesteko. Labe bertikalak 200 mm eta 300 mm-ko diametroko obleen zirkuitu integratuko prozesuan erabiltzen dira batez ere. Labe bertikalen oinarrizko teknologia zehaztasun handiko tenperatura-eremuaren kontrolan, partikulen kontrolan, mikro-inguruneko mikro-oxigenoaren kontrolan eta motorizazioan datza. Labe bertikalen abantailak oxido geruza natural mehea, uniformitate ona, automatizazio errazagoa, ekipoen aztarna txikia eta loteen prozesatzea dira. Desabantaila berogailuaren abiadura motela da.

Eremu fotovoltaikoan, zelula fotovoltaikoen ekoizpen-prozesuak kuartzozko ontziak behar ditu silizio-obleak eraman eta garraiatzeko tenperatura altuko difusio-prozesuan. Tenperatura handiko tratamendua purutasun handiko nitrogeno, oxigeno edo beste gas geldoen atmosfera batean, hala nola fosforoaren difusioa edo boroaren difusioa, eguzki-zelulen fabrikazio-prozesuan urrats garrantzitsua da. Helburua siliziozko oblean PN juntura bat osatzea da.

Quartz-eko itsasontziak zehazki zirrikituak diseinatu ditu, silizio-ogiak tenperatura handiko difusio prozesuan posizio zehatza mantentzen duela ziurtatzeko eta berdin berotzen da. Kuartzoko materialak tenperatura handiko erresistentzia ona eta egonkortasun kimikoa duelako, ez du silizioaren ogitegia kutsatuko, ekoizpen inguruneko garbitasun handia mantentzea bultzatuko duena.

Txinako Wafer erabilitako kuartzozko itsasontzien merkatuan berritzaile eta lider gisa, erdieroaleen industrian edo industria fotovoltaikoan diharduten ala ez, purutasun handiko Quartz Wafer Boat behar duzun bitartean, eskatu iezaguzu aurrekontua eta neurrira egokitu ahal izango dugu. zure beharren arabera.

VeTek Semiconductor produktuen dendak: