Erdialdeko kuartzozko kanpaia

HaziakElektronikaKuartzoz kanpai jar!Gako-rol ugari ditu erdieroaleen tratamenduan. -a kanpai pota hutseko sistemaErreakzio ingurune egonkorra eta kontrolatua izateaz gain, prozesu desberdinen eraginkortasuna eta zehaztasuna bermatzen ditu, egonkortasun termiko bikainaren, inertutasun kimiko eta gardentasun optikoaren bidez. Ezaugarri horiek hori ere zehazten duteBell hutsezko ganberaezinbesteko osagaiko produktua da erdieroaleen fabrikazio prozesuan.

MaletategiKuartzo erdieroalea Prozesatzeko ingurune zigilatua sortzen du, prozesuko gasak uniformeki banatzea eta oblearen gainazalarekin erreakzionatzea ahalbidetzen duena baldintza kontrolatuetan. Horregatik,Erdialdeko kuartzozko kanpaiaCVD, difusioa eta oxidazioa bezalako prozesuetan erabili ohi da atmosferaren konposizioa eta presioa zehatz-mehatz kontrolatzeko, horrela filmaren uniformetasuna eta materialaren purutasuna bermatuz.

Aldi berean, kuartzoko materialek egonkortasun termiko bikaina dute, tenperatura altuko erresistentzia (tenperatura altuko erresistentzia handia da, normalean 1000 ºC-ko edo gehiagokoa da. Horrek zehazten duKuartzoz kanpai jar!Guztiz ziurtatu dezake wafer gainazaleko tenperaturaren uniformetasuna, difusio eta oxidazioaren tenperatura altuko ingurunean, eta, horrela, metatutako edo geruza difusatukoaren kalitatea eta uniformetasuna hobetu daitezke.

Garrantzitsuagoa,MaletategiSemiconductor purutasun handiko kuartzoa ez da erraza prozesuko gaiekin erreakzionatzea tenperatura handiko inguruneetan eta korrosioarekiko erresistentzia sendoa du. Produktuaren ezaugarri honek zehazten du prozesuetan gas korrosiboak (CVD prozesu batzuk adibidez),Erdialdeko kuartzozko kanpaiaegonkortasun kimikoa guztiz mantendu dezake, eta horrela gailu erdieroaleen kutsadura saihestuz.

Erdieroalea daKuartzoz kanpai jar!:

Epitaxia industria kate erdieroalearen ikuspegi orokorra: