Sic estalitako UV sakonera

Sic estalitako UV sakoneko suscoldora da oinarrizko osagaiaMOCVD (metalezko lurrun produktu kimiko organikoa) Ekipamendua. Suscoltorek zuzenean eragiten du UV sakoneko hazkunde sakonaren uniformetasun, lodiera kontrolatzeko eta kalitate materialari, batez ere aluminiozko nitruro (ALN) geruza epitaxialaren hazkuntzan aluminiozko eduki handia duena, suscoltzailearen diseinua eta errendimendua funtsezkoak dira.

SIC estalitako UV sakoneko susmorioa bereziki optimizatuta dago UV LED epitaxia sakonerako, eta, hain zuzen, ingurumen-ezaugarri termiko, mekaniko eta kimikoetan oinarritutako diseinatuta dago, prozesu zorrotzak betetzeko.

Vetek erdieroaleak prozesatzeko teknologia aurreratua erabiltzen du, superportatzailearen bero-banaketa uniformea ​​bermatzeko, tenperatura-temperadorean eragindako geruza epituxialaren hazkunde ez uniformea ​​saihesteko. Zehaztasunak prozesatzeak gainazaleko zimurtasunak kontrolatzen ditu, partikulen kutsadura minimizatzen du eta Wafer gainazaleko kontaktuaren eroankortasun termikoa hobetzen du.

Vetek erdieroaleak SGL grafitoa erabiltzen du material gisa, eta gainazala tratatzen daCvd sic estaldura, NH3, HCl eta tenperatura handiko giroa jasan ditzakeen denbora luzez. Vetek erdieroalearen SIC Siced UV Secked Secked-ek ALN / GAN Epitariozko Wafers hedapen termikoko koefizientearekin bat dator, prozesuan zehar estres termikoek eragindako wafer wafer edo pitzadura murriztuz.

Garrantzitsuena, Vetek erdieroalearen SIC sortutako UV sakoneko susmoa ezin hobeto egokitzen da MOCVD ekipamendu nagusietara (Veeco K465i, EPIK 700, AIXTRON, AIXTRON, etab.). Wafer Tamaina (2 ~ 8 hazbete), Wafer Slot Design, prozesuaren tenperatura eta bestelako eskakizunetarako pertsonalizatutako zerbitzuak onartzen ditu.

Aplikazio eszenatokiak:

● UV LED prestaketa sakona: Aplikatuz 260 NM azpitik (UV-C desinfekzioa, esterilizazioa eta bestelako eremuak).

● Nitruren erdieroalearen epitaxia: Gallium Nitride (GAN) eta Aluminum Nitride (ALN) bezalako material erdieroaleen prestaketa epitaxialerako erabiltzen da.

● Ikerketa-maila epitaxial esperimentuak: UV Epitario sakona eta materialen garapenerako esperimentu berriak unibertsitateetan eta ikerketa erakundeetan.

Talde tekniko sendo baten laguntzarekin, Vetek erdieroaleak zehaztapen eta funtzio bereziak dituzten susceptariak garatzeko gai da bezeroen beharrizanen arabera, ekoizpen prozesu espezifikoak onartzen dituena eta epe luzerako zerbitzuak eskaintzen ditu.

CVD SIC estaldura filmaren datuak:

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak:

Erdieroalea daSic estalitako UV sakoneko produktuen denda: