SiC estalitako grafito suszeptorea ASMrako

Produktuari buruzko informazio orokorra

Produktuen negozio-baldintzak

✔ Aplikazioa: Veteksemicon SiC estalitako grafitoaren substratua ASM serieko epitaxial ekipamendurako funtsezko kontsumigarria da. Ostia zuzenean onartzen du eta eremu termiko uniforme eta egonkorra eskaintzen du tenperatura altuko epitaxian, GaN eta SiC bezalako material erdieroale aurreratuen kalitate handiko hazkuntza bermatzeko oinarrizko osagai bihurtuz.

✔ Eman daitezkeen zerbitzuak: bezeroen aplikazio-eszenatokien azterketa, materialak lotzea, arazo teknikoak ebaztea. 

✔ Enpresaren profila：Veteksemicon-ek 2 laborategi ditu, 20 urteko material esperientzia duen aditu talde bat, I+G eta ekoizpen, proba eta egiaztapen gaitasunekin.

Parametro Teknikoak

Nire arerioa SiC estalitako grafitoaren susceptor ASMren abantaila nagusietarako

1. Muturreko purutasuna eta akats-tasa baxua

Garbitasun handiko eta partikula fineko grafito-substratu berezia erabiliz, gure zorrozki kontrolatutako lurrun-deposizio kimikoko (CVD) estaldura-prozesuarekin konbinatuta, estaldura trinkoa, zulorik gabekoa eta ezpurutasunik gabea dela ziurtatzen dugu. Horrek nabarmen murrizten du partikulak kutsatzeko arriskua prozesu epitaxialean zehar, kalitate handiko geruza epitaxialak hazteko substratu-ingurune garbia eskainiz.

2. Korrosioarekiko erresistentzia bikaina eta higadura erresistentzia

Silizio-karburo pirolitikoen estaldurak gogortasun eta inertetasun kimiko oso altuak ditu, silizio-iturrien (adibidez, SiH4, SiHCl3), karbono-iturri (adibidez, C3H8) eta grabazio-gasen (adibidez, HCl, H2) higadurari eraginkortasunez aurre egiten dion tenperatura altuetan. Horrek nabarmen luzatzen du oinarriaren mantentze-zikloa eta makinen geldialdi-denbora murrizten du osagaien ordezkapenak eragindakoa.

3. Uniformetasun eta egonkortasun termiko bikaina

Eremu termikoaren banaketa optimizatu dugu funtzionamendu-tenperatura barrutian, substratu-egituraren diseinu zehatzaren eta estalduraren lodieraren kontrolaren bidez. Honek zuzenean lodiera bikaina eta oblea epitaxialeko erresistentzia-uniformitate bihurtzen ditu, txiparen fabrikazio-errendimendua hobetzen laguntzen du.

4. Estaldura atxikitzeko indar bikaina

Gainazaleko aurretratamendu eta gradiente-estaldura-teknologia bereziak silizio-karburozko estaldurak lotura-geruza sendo bat osatzea ahalbidetzen du grafitoko substratuarekin, epe luzeko ziklo termikoetan gerta daitezkeen estaldurak zuritu, ezkatatze edo pitzadura-arazoak eraginkortasunez saihestuz.

5. Tamaina zehatza eta egitura-erreplikazioa

CNC mekanizatu eta probatzeko gaitasun helduak ditugu, eta jatorrizko oinarriaren geometria konplexua, barrunbeen dimentsioak eta muntatzeko interfazeak guztiz errepika ditzakegu, bezeroaren plataformarekin bat etortze eta plug-and-play funtzionaltasun ezin hobea bermatuz.

6. Kate ekologikoa egiaztatzeko abala

ASMren kate ekologikoaren egiaztapenerako Veteksemicon SiC estalitako grafitoaren suszeptoreak lehengaiak estaltzen ditu produkziorako, nazioarteko estandar ziurtagiria gainditu du eta teknologia patentatu batzuk ditu erdieroaleen eta energia berrien eremuan bere fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Zehaztapen tekniko zehatzak, liburu zuriak edo laginak probatzeko moldaketak lortzeko, jarri harremanetan gure Laguntza Teknikoko Taldearekin Veteksemicon-ek zure prozesuaren eraginkortasuna nola hobetu dezakeen aztertzeko.

Aplikazio-eremu nagusiak

Nire arerioa produktuen denda