Sic estalduraren biltzaile zentroa

Vetek erdieroalearen SIC estalduraren zentroak paper garrantzitsua du erdiezenduaren EPI prozesuaren ekoizpenean. Epitario erreakzio ganbera batean gas banaketa eta kontrolerako erabilitako funtsezko osagaietako bat da. Gomendio iezaguzuSic estalduraetaTAC estalduragure lantegian.

Honako hau da: SIC estalduraren zentroaren eginkizuna:

● Gasaren banaketa: Sic estaldura-biltzailearen zentroa gas ezberdinak aurkeztera erabiltzen da Epitarazio erreakzio ganberan. Gasak desberdinei nahi diren tokietara gas desberdinak banatu ditzaketen hainbat lekutan eta saltoki ditu hazkunde epitaxialen beharrak asetzeko.

● Kontrol gasa: Sic Coating Collector Center-ek gas bakoitzaren kontrol zehatza lortzen du balbulen eta fluxuen kontrol gailuen bidez. Gasaren kontrol zehatz hau ezinbestekoa da hazkunde prozesu epituxialak nahi den gas kontzentrazioa eta emaria lortzeko, filmaren kalitatea eta koherentzia bermatzeko.

● Uniformitatea: Gas erdiko bilketa eraztunaren diseinuak eta diseinuak gasaren banaketa uniformea ​​lortzen laguntzen du. Gas-fluxuaren eta banaketa modu zentzuzkoaren bidez, gasa modu berdinean nahasten da erreakzio epituxial ganberan, filmaren hazkunde uniformea ​​lortzeko.

Produktu epituxialen fabrikazioan, SIC estaldura-biltzaileen zentroak funtsezko eginkizuna du filmaren kalitate, lodiera eta uniformetasunean. Gasaren banaketa eta kontrol egokiaren bidez, SIC estaldura-biltzaileak egonkortasuna eta koherentzia ziurtatu dezakeHazkunde epituxial prozesua, kalitate handiko film epituxialak lortzeko.

Grafitoen biltzailearen zentroarekin alderatuta, SIC estalitako biltzaile zentroak eroankortasun termikoa hobetzen du, inertutasun kimiko hobetua eta korrosioaren erresistentzia handiagoa. Silizio karburo estaldurak nabarmen hobetzen du grafito materialaren kudeaketa termikoaren gaitasuna, tenperatura uniformetasun hobea eta prozesu epituxialen hazkunde koherenteak hobetzea. Gainera, estaldurak korrosio kimikoari eusten dion babes geruza bat eskaintzen du, grafitoen osagaien bizitza luzatuz. Orokorrean,Silikonazko karburo estalitaGrafito materialak goi mailako eroankortasun termikoa, inertutasun kimikoa eta korrosioarekiko erresistentzia eskaintzen ditu, egonkortasun hobetua eta kalitate handiko filmaren hazkundea prozesu epituxialetan bermatuz.

CVD SIC Zinema kristal egitura:

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak

Erdieroalea daSic estalduraren biltzaile zentroaEkoizpen denda