TAC estalitako grafito gida eraztuna

TAC (Tantalum Carbide) estalitako grafito gida eraztuna erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen den osagai kritikoa da, zehazki, epitaxial gordailu eta plasma grabatzeko prozesuetan. Eraztun horiek silikonazko ogiak modu seguruan mantentzeko diseinatuta daude, lerrokatze eta egonkortasun zehatza bermatuz tenperatura altuko eta ingurune kimiko gogorretan. Gure gida-eraztunak diseinatzen dira erdieroaleen fabrikazio modernoaren eskakizun zorrotzak betetzeko, prozesuen errendimenduak eta wafer kalitatea hobetzen laguntzen.

Materialen konposizioa eta propietate fisikoak

Gure TAC estalitako grafitoen gida eraztunaren muina garbitasun handiko grafito eraztuna da, eta, ondoren, Tantalum Carbide (TAC) geruza batekin estalita dago.

Grafito substratua:

Grafitoak hainbat abantaila ditu. Egonkortasun termiko bikaina du, deformazioari aurre egiteko tenperatura almikoetan. Bere izaera arinak masa termikoa minimizatzen du, berogailu azkarrak eta hozte zikloak ahalbidetuz. Garbitasun handiko grafitoak prozesuko ganbera kutsatzea ekiditen du.

CVD TAC estaldura:

Tantalum karburoaren estaldura eraztunaren errendimenduaren gakoa da. TAC oso zeramikazko material gogorra da, aparteko higaduraren erresistentzia eta inertasun kimikoa eskainiz. Azpiko grafitoa plasma oldarkorretik eta gas korrosiboetatik babesten du, eraztunaren bizitza luzatuz. Estaldura horrek ere partikulak isurtzea eragozten du, funtsezkoa baita prozesu garbiaren ingurunea mantentzeko eta okerreko gainazalean akatsak saihesteko.

Gida-eraztunen rolak wafer prozesatzean

Gure TAC estalitako gida eraztunak funtsezko eginkizuna du erdieroaleen fabrikazioaren kalitatea eta eraginkortasuna bermatzeko.

● Wafer lerrokatzea eta egonkortasuna: Hazkunde epituxialean edo grabazioan, gida eraztunak ogia jarrera zehatz batean gordetzen du. Horrek eragotziko du obra aldatzea, funtsezkoa da geruza uniformeko gordailu eta patroi zehatzak transferitzeko.

● Kudeaketa termikoa: Grafito eta Tantalum karburo estalduraren propietate termikoek bero banaketa eta kudeaketa eraginkorra ahalbidetzen dute. Hori funtsezkoa da tenperatura uniformearen profilak obran zehar, eta hori beharrezkoa da zinemaren lodiera koherentea eta propietate materialak egiteko.

● Kutsatzeko kontrola: Garbitasun handiko materialak eta TAC estaldura iraunkorrak partikulen sorrera eta gehiegizkoa da. Horrek oblaren kutsadura eta akatsak izateko arriskua murrizten du, gailuaren errendimendua eta fidagarritasuna lortzeko.

● Osagai luzea bizitzea: Tantalum karburo estaldura sendoak erresistentzia bikaina eskaintzen du plasmaren higadura eta eraso kimikoarekiko. Honek gidaliburuaren eraztunaren bizitza operatiboa luzatzen du, mantentze-lanak murriztea eta jabetza osoa murriztea.