VEECO MOCVD (LED Epitaxia) ostia eramailea

Produktuaren Ezaugarriak:

1. Garbitasun handiko grafitoaren oinarria CVD SiC geruza trinkoarekin
2. Uniformitate termiko ona LED epitaxia egonkorretarako
3. Prozesuan erabiltzen diren NH₃, HCl eta beste gas korrosibo batzuei eusten die
4. Partikulen isurketa txikia eta bizitza luzea
5. Poltsikoen diseinuak obleen tamaina eta erreaktore plataforma desberdinetarako pertsonalizatu daitezke
6. Ondo funtzionatzen du epe luzerako, tenperatura altuko MOCVD funtzionamendurako

Aplikazioak:
Obleen eramaile hauek LED eta erdieroale konposatuen epitaxian oso erabiliak dira, besteak beste:

• GaN LED epitaxia
• LED urdin-berdea epitaxia
• UV LED hazkunde sakona
• Si-n oinarritutako GaN epitaxia
• Erdieroale konposatuen fabrikazio orokorra

Eramaile pertsonalizatuen irtenbideak hainbat LED MOCVD plataformatara egokitzen dira, hala nola:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Abantaila teknikoak:

1. CVD SiC estalduradentsitate eta garbitasun ona ematen dizun teknologia
2. Estalduraren lodieraren aldakuntza ± 10 μm-ren barruan mantentzen da - errendimendu termikoa egonkor mantentzen laguntzen du
3. CNC mekanizazioa 3 μm-ko zehaztasunera arte, oblea egokitzeko eta biraketaren egonkortasunerako
4. Estaldura ondo itsasten da eta pitzadurari aurre egiten dio tenperatura altuko MOCVD ziklo errepikatuen ondoren
5. NH₃, HCl eta beste epitaxia ingurune gogorrak maneiatzen ditu arazorik gabe
6. Partikula gutxi sortzea eta gainazal garbia errendimendu handiari eustekoLED epitaxia
7. Tamaina handiak edo pertsonalizatuak estali ditzake erreaktoreen plataforma eta obleen diseinu desberdinetarako
8. Esperientzia luzeagrafito pertsonalizatua eta SiC estalitako piezakLED eta erdieroale konposatuen epitaxiarako

Ohiko galderak:
1. Zertan egiten du ostia-garraio batekMOCVDLED epitaxia?

A: MOCVD erreaktorearen barnean obleak eusten eta biratzen ditu, eta hazkuntza epitaxialean tenperatura egonkor mantentzen laguntzen du.

2. Zergatik erabili SiC estalitako grafitozko obleen eramaileak MOCVDrako?

A: TheCVD SiC estaldurakorrosioarekiko erresistentzia, egonkortasun termiko eta iraunkortasun hobea ematen du. Gainera, tenperatura altuko epitaxian partikulen kutsadura murrizten laguntzen du.

3. Vetek Semiconductor-ek obleen eramaile pertsonalizatuak egiten al ditu?
A: Bai. Eramaile pertsonalizatuak diseina ditzakegu zure erreaktoreen plataforman, obleen tamainan, poltsikoen diseinuan eta beste prozesu-beharretan oinarrituta.