Aixtron Satelite Wafer Garraiolaria

AIXTRON Satelite Wafer Carrier AIXTRON MOCVD Ekipamenduen zati integrala da, bereziki ogiak homosexualen hazkuntzarako eramateko. Bereziki egokia daHazkunde epitaxialaGan eta silizio karburo (sic) gailuak. Bere "satelite" diseinuak gasaren fluxuaren uniformetasuna bermatzeaz gain, obuluen gordailuen uniformetasuna hobetzen du.

Aixtron'swafer eramaileaknormalean egiten diraSilizio karburoa (sic)edo CVD estalitako grafitoa. Horien artean, Silicon Carbide (SIC) eroankortasun termiko bikaina, tenperatura altuko erresistentzia eta hedapen termiko baxuko koefizientea ditu. CVD estalitako grafitoa silizio karburo filmarekin estalitako grafitoa da, lurrun kimikoen gordailuaren (CVD) prozesuaren bidez, eta horrek korrosioarekiko erresistentzia eta indar mekanikoa hobetu ditzake. SIC eta estalitako grafito materialak tenperaturak jasan ditzake 1.400 ºC-ko 1.600 ºC-raino eta egonkortasun termiko bikaina dute tenperatura altuetan, eta hori funtsezkoa da hazkunde epituxialen prozesurako.

AIXTRON Satelitearen ogitarteko garraiolaria batez ere ogiak eramateko eta biratzeko erabiltzen daMOCVD ProzesuaGas fluxu uniformea ​​eta gordailu uniformea ​​bermatzeko, hazkunde epituxialean.Funtzio espezifikoak honako hauek dira:

● Wafer biraketa eta gordailu uniformea: AIXTRON Satelite garraiolariaren biraketa bidez, ogiak mugimendu egonkorra mantendu dezake hazkunde epituxialean, gasak modu uniformean isuri ahal izateko materialen gordailu uniformea ​​bermatzeko.

● Tenperatura altuko errodamendua eta egonkortasuna: Silikonazko karburo edo estalitako grafito materialak tenperaturak jasan ditzake 1.400 ° C-1.600 ºC arte. Ezaugarri honek gainjarritakoak ez du tenperatura handiko hazkunde epitaxialean deformatuko, garraiolariaren hedapen termikoa epitaxial prozesuan eragitea eragozten duen bitartean.

● Partikulen sorrera murriztua.

Vetekemicon-en AIXTRON Satelite waiserako garraiolaria 100 mm-ko, 150mm, 200mm eta are handiagoak dira, eta produktuaren tamaina handiagoak eta produktuaren zerbitzu pertsonalizatuak eman ditzakete zure ekipamendu eta prozesuen eskakizunetan oinarritutako produktuen zerbitzuak. Espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.

CVD SIC Zinema Kristal Egitura：

Aixtron Satelite Wafer Carrier produkzio dendak: